半導体製造装置用の特注花崗岩製台座
・熱変形ゼロ:花崗岩の熱膨張係数は鋼鉄のわずか3分の1であり、±5℃の温度変動がある環境でもサブミクロン単位の寸法安定性を維持します。
・優れた振動減衰性能:内部の微結晶構造が高周波振動を効果的に吸収し、共振が測定結果に干渉するのを防ぎます。
・錆びにくく腐食に強い:メンテナンスに油膜処理が不要なため、クリーンルームや酸性・アルカリ性環境などの特殊な条件下での使用に適しています。
・トレーサブルな高精度:すべての部品は工場出荷前にレーザー干渉計で校正され、国際規格に準拠した検査報告書が添付されます。
・高いカスタマイズ性:シンプルなプレートから、空気浮上溝やTスロットを備えた複雑な多面体まで、お客様の図面に基づいて正確に製造できます。
| モデル | 詳細 | モデル | 詳細 |
| サイズ | カスタム | 応用 | CNC、レーザー、CMM... |
| 状態 | 新しい | アフターサービス | オンラインサポート、オンサイトサポート |
| 起源 | 済南市 | 材料 | 黒御影石 |
| 色 | 黒 / グレード1 | ブランド | ZHHIMG |
| 精度 | 0.001mm | 重さ | 約3.05g/cm3 |
| 標準 | DIN/GB/JIS... | 保証 | 1年 |
| パッキング | 輸出用合板ケース | 保証期間後のサービス | ビデオ技術サポート、オンラインサポート、スペアパーツ、フィールドメール |
| 支払い | 電信送金、信用状… | 証明書 | 検査報告書/品質証明書 |
| キーワード | 花崗岩製機械ベース、花崗岩製機械部品、花崗岩製機械部品、精密花崗岩 | 認証 | CE、GS、ISO、SGS、TUV... |
| 配達 | EXW; FOB; CIF; CFR; DDU; CPT... | 図面のフォーマット | CAD、STEP、PDF... |
- ・半導体リソグラフィ装置ベース:ウェーハ露光中、花崗岩製のベースが外部の振動や温度変動を効果的に遮断し、重ね合わせ誤差を2nm未満に抑えます。
- • CMM作業台:CMMの移動基準面として、長期安定性により繰り返し測定精度を0.5μm以内に維持します。
- ・高精度光学組立プラットフォーム:レンズ組立時に完全に平坦な取付基準を提供し、基部の変形による光軸のずれを防ぎます。
このプロセスでは、さまざまな手法を用います。
● オートコリメータを用いた光学測定
● レーザー干渉計およびレーザートラッカー
● 電子式傾斜計(精密水準器)
1. 製品に添付される書類:検査報告書 + 校正報告書(測定機器) + 品質証明書 + 請求書 + 梱包明細書 + 契約書 + 船荷証券(または航空貨物運送状)。
2. 特別輸出用合板ケース:輸出用燻蒸処理不要の木箱。
3. 配送:
| 船 | 青島港 | 深セン港 | 天津港 | 上海港 | ... |
| 電車 | 西安駅 | 鄭州駅 | 青島 | ... |
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| 空気 | 青島空港 | 北京空港 | 上海空港 | 広州 | ... |
| 急行 | DHL | TNT | フェデックス | UPS | ... |
Q:花崗岩は金属よりも割れやすいですか?
A:いいえ。花崗岩は金属よりも脆いものの、圧縮強度は250MPaを超えます。さらに、設計段階で有限要素解析(FEA)を用いて構造を最適化し、応力を分散させることで、通常の使用条件下では金属製の土台をはるかに凌駕する寿命を実現しています。
質問:花崗岩製の部品が品質基準を満たしているかどうかは、どのように判断すればよいですか?
A:重要な3つのポイントに注目してください。1)素材が純粋な「済南ブルー」花崗岩であるかどうか、2)平面度が規定の等級を満たしているかどうか、3)権威ある機関による校正証明書があるかどうか。当社の製品はすべて、これらの3つの要件を満たしています。
Q:カスタマイズにかかる一般的なリードタイムはどれくらいですか?
A:標準部品は在庫がございます。非標準仕様のカスタマイズは、複雑さにもよりますが、通常2~6週間かかります。当社には大型CNC研削盤と熟練した手作業による研磨チームがあり、緊急のご要望にも迅速に対応いたします。
品質管理
測定できないものは、理解できない!
理解できなければ、制御することもできない!
コントロールできないものは、改善することもできない!
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計測分野のパートナーであるZhongHui IMは、お客様の成功を容易にサポートします。
当社の認証および特許:
ISO 9001、ISO 45001、ISO 14001、CEマーク、AAA認証、AAAレベルの企業信用証明書…
証明書や特許は、企業の強さを示すものであり、社会が企業を認めている証でもある。
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