素材 – セラミック

♦アルミナ(Al₂O3)

中匯智能製造集団（ZHHIMG）が製造する精密セラミック部品は、高純度セラミック原料（92～97%アルミナ、99.5%アルミナ、99.9%以上アルミナ）を使用し、CIP冷間静水圧プレス法で製造されます。高温焼結と精密加工により、寸法精度は±0.001mm、表面粗さはRa0.1まで、使用温度は1600度まで対応可能です。黒、白、ベージュ、濃赤など、お客様のご要望に応じて様々な色のセラミック部品を製造できます。当社製の精密セラミック部品は、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性に優れており、高温、真空、腐食性ガス環境下でも長期間使用できます。

半導体製造装置のフレーム（セラミックブラケット）、基板（ベース）、アーム／ブリッジ（マニピュレーター）、機械部品、セラミックエアベアリングなど、さまざまな用途で広く使用されています。

高純度アルミナセラミックスの応用例：
1. 半導体製造装置に適用: セラミック真空チャック、切断ディスク、クリーニングディスク、セラミックチャック。
2. ウェーハ搬送部品：ウェーハハンドリングチャック、ウェーハ切断ディスク、ウェーハ洗浄ディスク、ウェーハ光学検査用吸盤。
3. LED / LCD フラットパネルディスプレイ業界: セラミックノズル、セラミック研削ディスク、リフトピン、ピンレール。
4. 光通信、太陽光発電産業：セラミックチューブ、セラミックロッド、回路基板スクリーン印刷用セラミックスクレーパー。
5. 耐熱性および電気絶縁性部品：セラミックベアリング。
現在、酸化アルミニウムセラミックスは、高純度セラミックスと一般セラミックスに分類できます。高純度酸化アルミニウムセラミックスシリーズは、99.9%以上のAl₂O₃を含むセラミック材料を指します。焼結温度が1650～1990℃と高く、透過波長が1～6μmであるため、通常は白金るつぼの代わりに溶融ガラスに加工されます。光透過性とアルカリ金属に対する耐食性から、ナトリウム管として使用できます。電子産業では、IC基板の高周波絶縁材料として使用できます。酸化アルミニウムの含有量の違いにより、一般酸化アルミニウムセラミックスシリーズは、99セラミックス、95セラミックス、90セラミックス、85セラミックスに分類できます。場合によっては、酸化アルミニウムが80%または75%のセラミックスも一般酸化アルミニウムセラミックスシリーズに分類されます。中でも、99アルミニウム酸化物セラミック材料は、高温るつぼ、耐火炉管、セラミックベアリング、セラミックシール、バルブプレートなどの特殊耐摩耗材料の製造に使用されます。95アルミニウムセラミックは、主に耐腐食性・耐摩耗性部品として使用されます。85セラミックは、特性が変化すると電気的性能や機械的強度が向上するため、モリブデン、ニオブ、タンタルなどの金属シールに使用でき、一部は電気真空装置にも使用されます。

* MgOはAl₂O₃の純度の計算には含まれません。
* スケール粉末なし、29.4MPa (300kg/cm²)、焼結温度は1600℃。
AES-11 / 11C / 11F: 0.05～0.1%のMgOを添加すると焼結性が優れているため、純度99%以上の酸化アルミニウムセラミックスに適用可能です。
AES-22S：焼結ラインの成形密度が高く、収縮率が低いのが特徴で、スリップフォーム鋳造や、寸法精度が求められるその他の大型製品に適しています。
AES-23 / AES-31-03：AES-22Sよりも成形密度、チキソトロピー性が高く、粘度が低い。前者はセラミックスに、後者は耐火材の減水剤として使用され、人気が高まっている。