多くの精密検査作業は、磁気干渉の影響を受けやすい。従来の金属製ガントリーは、このような作業条件下では隠れた誤差源となる。鋼鉄製および鋳鉄製のガントリーは磁気伝導性を持つ。外部磁場がなくても、周囲のモーター、ケーブル、電磁駆動部品によって発生する微弱な磁場が金属フレームに吸収・伝達され、局所的な磁場歪みが生じる。磁場に敏感な検査作業では、このような磁気擾乱によってセンサーの読み取り値が歪んだり、光学検出器に干渉したり、検査対象物の磁気状態が変化したりして、検査の失敗に直結する。花崗岩製の可動式ガントリーは本来非磁性であるため、支持フレームからの磁気干渉を回避でき、磁気に敏感な検査シナリオに最適な搬送装置となる。
花崗岩は天然のケイ酸塩鉱物の集合体であり、強磁性物質を含みません。磁化されることはなく、残留磁気も持ちません。金属フレームとは異なり、花崗岩製のガントリーは、機器周辺の交流磁場や静磁場といった弱い磁場下でも、元の磁場分布を変化させたり、磁場を収束・屈折させたりすることはありません。検査装置に磁気センサー、ホールプローブ、磁気力顕微鏡などの高感度部品が搭載されている場合でも、支持ガントリーが余分な磁気ノイズを発生させることはありません。プローブで収集される信号は、フレームからの磁気干渉ではなく、検査対象サンプルからのみ得られます。この自然な非磁性特性により、追加の遮蔽コーティングは不要であり、コーティングの経年劣化や剥離による性能低下もありません。長期間の使用においても、安定した非磁性を維持します。
半導体業界における一部のウェーハ検査プロセスでは、周囲の磁場を厳密に制御する必要があります。ウェーハ内部の精密な回路構造は、迷走磁場の影響を非常に受けやすく、検査中の信号取得に影響を与えるだけでなく、深刻な場合にはウェーハ上のマイクロ回路を損傷する可能性もあります。金属製のガントリーを備えたスキャンプラットフォームでは、リニアモーターやサーボケーブルによって発生する磁場が金属フレーム上に渦電流や磁気ループを形成し、局所的な磁場変動を増幅します。花崗岩製の可動式ガントリーは磁気ループの形成に関与せず、検査領域内の純粋な磁気環境を維持するのに役立ちます。ガントリーが広範囲スキャン用の光学式または磁気式検出モジュールを駆動する場合、フレームの動きによって瞬間的な磁気擾乱が発生することはなく、ウェーハ全体にわたって一貫した検査データが得られます。
磁性材料の非破壊検査も、非磁性ベースに大きく依存するシナリオの一つです。永久磁石、軟磁性フィルム、磁気センサーの性能試験では、サンプルからの微弱な磁気信号を正確に捉える必要があります。磁気伝導性ガントリーを採用すると、フレームがサンプルから放出される磁力線を引き付け、サンプルの周囲の磁場形状を歪ませ、磁束と磁場強度の測定値が歪んでしまいます。花崗岩製の可動ガントリーは、荷重支持体として磁力線の経路を妨げません。プローブによって収集されたデータは、サンプルの本来の磁気特性を真に反映することができます。大スパンの可動ガントリーは、プローブを搭載して大きな磁性材料表面をスキャンすることができます。連続的な動的検査中、スライドが移動しても非磁性フレームは動的な磁気干渉を引き起こしません。
電子部品の微弱な磁気欠陥検査も、花崗岩製ガントリーの非磁性という利点を享受できます。チップリードフレーム、小型リレー、センサー磁気コアなどの微細な精密部品は、製造中に微細な磁気異常を検査する必要があります。このような欠陥に対応する磁気信号は非常に微弱であり、余分な磁気ノイズがあると有効な信号が埋もれてしまいます。金属製のガントリーは、移動中に摩擦磁化や渦電流効果も発生させ、背景ノイズをさらに増加させます。花崗岩製の可動式ガントリーには、このような問題はありません。フレームは高速往復運動や始動・停止切り替え中に余分な磁気信号を発生させないため、微弱な欠陥磁気信号も検出装置で安定して捉えることができます。 
真空・低温検査装置の中には、非磁性の花崗岩製ガントリー構造を採用しているものもあります。このような装置は内部空間が限られており、駆動部や検出部が密集しているため、複雑な電磁環境が生じます。金属フレームの透磁率は低温下で変化し、磁気干渉の程度も温度によって変動するため、検査結果に不確実性が加わります。一方、花崗岩は広い温度範囲で物性が安定しており、非磁性であるため低温や真空環境の影響を受けません。ガントリーフレームを真空チャンバー内に組み込むことで、環境条件の変化による磁気干渉の変動を招くことなく、サンプル走査用の検出機構を駆動できます。
非磁性フレームに加え、花崗岩自体が高い剛性と低い変形性を備えており、磁気に敏感な検査における二重の精度要件を満たしています。多くの非磁性非金属材料は十分な剛性を欠いており、ガントリースライドは高速移動中に弾性振動を起こし、位置決め誤差の原因となります。一体型花崗岩構造は、動作中に十分な剛性と最小限の変形を実現します。磁気的にクリーンな環境を維持しながら、ミクロンレベルの動作位置決めを維持し、安定した磁気状態と高い動作精度を両立させます。ガイドレールやファスナーなどの金属部品には、局所的な磁気絶縁を適用できます。非磁性花崗岩本体と連携することで、ガントリーシステム全体の磁気干渉を極めて低いレベルに抑え、さまざまな特殊検査シナリオの厳しい要件を満たすことができます。
投稿日時：2026年9月20日