半導体製造装置のエンジニアに、何が彼らの睡眠を妨げるのかと尋ねれば、モーションシステムや光学系といった答えは滅多に返ってこない。答えは、装置を支える床面だ。紙上で2ナノメートルの精度で位置を保持できるウェハステージであっても、その下でドリフトしたり、振動したり、温度が上昇したりしない土台が必要なのだ。
その土台は通常、黒御影石でできています。御影石が流行っているからではなく、金属にはない3つの特性を同時に備えているからです。温度変化にも動じず、振動を吸収して伝達せず、24時間365日稼働しても10年以上錆びたり変形したりしません。ZHHIMG社はこの土台部分を製造しています。
ZHHIMG工場で検査されている大きな黒御影石の板。平面度は約束ではなく、計測機器によって証明される。
問題は強度ではなく安定性だ
半導体製造装置が重いのは、強度が必要だからではなく、安定性が必要だからだ。装置は、モーターが動いている間も、室温が上がったり下がったりしても、そして何ヶ月も休みなく稼働している間も、その形状を維持し続けなければならない。
鋼鉄や鋳鉄は温度変化によって伸縮し、振動も生じます。ウイルスよりも小さな形状を測定する測定器において、振動するベースは不良なベースです。目標は、設置当日だけでなく、年間を通して基準面として機能し続ける表面を実現することです。
黒御影石が選ばれる理由
当社の黒御影石の密度はおよそ3,100 kg/m³高密度は低多孔性を意味します。低多孔性とは、石材が水分を吸収せず、湿度の高いクリーンルームでも膨張せず、季節の変化によって変形しないことを意味します。
さらに、3つの特性も同様に重要です。花崗岩は熱膨張率が低いため、温度変化による変形は金属よりもはるかに小さくなります。内部減衰率が高いため、振動はウェハに伝わるのではなく熱に変換されます。また、非磁性で錆びないため、センサーに影響を与えたり、経年劣化による腐食が発生したりすることもありません。ナノメートル単位の精度が求められるツールにとって、これらはまさに決定的な要素です。
半導体製造装置における花崗岩の位置
精度が決定づけられるツールの部品には花崗岩を供給しています。これには、ウェーハ検査および計測ステージ、リソグラフィおよびレーザープラットフォーム、ボンディングおよびパッケージング装置、CMPおよび平坦化フレーム、そして花崗岩製ガントリーシステム加工対象物全体に光学部品やプローブを運搬する装置。
同じ材料は、プリント基板の穴あけ加工、光学検査、精密組立用の機械ベースの基盤としても使用されています。異なるツールでも、求められるのは同じです。それは、測定値と矛盾しない基準値です。
ウェハステージの成否を左右する詳細
花崗岩の塊自体は部品ではありません。部品となるのは、その周囲で行われる加工です。私たちは石材にねじ込みインサート、真空チャネル、エアベアリングポケット、ケーブル配線、取り付け面などを機械加工し、それらの間の形状を図面通りに保持します。
穴とインサートは、ステージ、光学系、移動レールが現場でシム調整なしで一直線になるように設定されます。これがスラブとの違いです。精密花崗岩部品だからこそ、機器メーカーは外形寸法だけでなく、インターフェース図面も送ってくるのです。
ミクロンを読み取る手
花崗岩の板の平面度は、今でも手作業で仕上げています。熟練の職人たちは、30年もの間、この作業台で腕を磨いてきました。彼らは、計測器で確認するずっと前から、ミクロンレベルのわずかな高低差も感じ取ることができるのです。
私たちはそのスキルを資格ではなく出発点として扱います。手が提案し、道具が決定します。すべての重要な表面は、以下の機器で稼働する検査ラインで測定されます。Mahr（ドイツ）、WYLER（スイス）、Renishaw（英国）図面と数値が一致するまで、何も出荷されません。
認証取得済み、特許取得済み、監査対応設計
ZHHIMGは、ISO 9001、ISO 45001、ISO 14001、CE認証を同時に取得している業界唯一の企業であり、20件以上の国際特許によってその実績が裏付けられています。半導体業界のお客様は厳格な監査を行うため、私たちはあらゆる点をチェックしていただくことを歓迎します。
私たちの精密花崗岩GE、サムスン、オラクルなどの企業で採用されており、シンガポール国立大学や英国、ドイツ、米国の国立計量機関などと共同で研究されています。国立計量研究所が材料を測定する場合、許容誤差はマーケティング上の数値ではなく、測定された事実です。不正行為、隠蔽、誤解を招くような行為は一切ありません。それが私たちの仕事のやり方です。
建設業者が何度も戻ってくる理由
半導体製造装置が出荷される際、ベースとなる部品は誰も仕様変更しない部分です。ベース部品が正常に動作しなければ、装置全体が廃棄処分となります。ZHHIMGが選ばれる理由は、プラットフォームのライフサイクル全体を通して、数値、表面仕上げ、形状のすべてが維持されるからです。
ステージ、ガントリー、または機械ベースを設計する場合は、精度予算、荷重、および環境をお送りください。当社のエンジニアが、お客様の作業に合わせて花崗岩のグレード、厚さ、および挿入レイアウトを選定し、それを証明する測定データを提供します。当社のサービスをご覧ください。超高精度花崗岩ソリューションまず最初に。
投稿日時：2026年9月17日