検査装置セラミック部品
高精度、高剛性が求められる部品に最適です。
お客様のご要望に合わせたサイズをご提案いたします。サイズや納期など、お気軽にお問い合わせください。
検査装置ガイドシャフト(中空)サイズ2000mm
一般的に難易度が高いと言われるセラミック真空チャック等のセラミック部品はもちろんのこと、お客様の図面に合わせて様々なセラミック部品を製作可能です。
サイズや形状に関するご質問、お見積りまで何でもお気軽にお問い合わせください。
構造用セラミックは、花崗岩や金属に比べて軽量で剛性が高いため、自重によるたわみが小さくなります。
800×800mmサイズのステージ定盤
金属では不可能な「2μm平面度」により、高精度な測定・加工を実現します。
平坦度:2μm
お客様のご要望に合わせたサイズをご提案いたします。サイズや納期など、お気軽にお問い合わせください。
1300x400mmサイズの真空チャンバー部品
セラミックスは電気絶縁性、耐熱性が高いため、真空チャンバーの壁面などに使用できます。
お客様のご要望に合わせたサイズをご提案いたします。サイズや納期など、お気軽にお問い合わせください。