花崗岩製エアベアリング
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ZHHIMG® 精密花崗岩アセンブリ
超精密加工の世界では、わずか1ミクロンの差が成否を分けるため、装置の性能は設置場所の安定性に大きく左右されます。ZHHIMG® 花崗岩製マシンベース（エアベアリング内蔵）は、半導体、プリント基板の穴あけ加工、ハイエンド計測など、絶対的な安定性が求められる業界向けに設計されています。
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精密花崗岩製ベース（リニアガイドシステム付き）
半導体製造装置、精密自動化システム、計測機器向けに設計されたこの一体型花崗岩構造は、設置時の誤差を最小限に抑え、位置合わせ精度を向上させ、機械性能を大幅に向上させます。
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花崗岩製エアベアリング：精密な動き、摩擦のない性能
花崗岩製エアベアリングは通常、花崗岩製のベースとエアベアリングユニットで構成されています。外部から供給される安定した清浄な圧縮空気は、精密なオリフィスを通してエアベアリング内部に送り込まれます。可動部品と花崗岩製ベースの間には、ミクロンレベルの均一な空気膜が形成され、可動部品はベース上で「浮遊」し、ほぼ摩擦のない滑らかな動きを実現します。
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花崗岩製エアベアリング：ハイエンド製造のためのミクロンレベルの精度
花崗岩製エアベアリングは、高精度な天然花崗岩を使用したコア機能部品です。エアフローティングサポート技術と統合することで、非接触、低摩擦、高精度な動作を実現します。
花崗岩基板は、高い剛性、耐摩耗性、優れた熱安定性、長期使用後も変形しないといった顕著な利点を有しており、過酷な作業条件下でもミクロンレベルの位置決め精度と装置の動作安定性を保証します。 -
花崗岩製エアベアリング
花崗岩製エアベアリングは、極めて低い熱膨張係数を持つ花崗岩素材で作られています。エアベアリング技術と組み合わせることで、高精度、高剛性、無摩擦、低振動といった利点を持ち、精密機器に適しています。
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花崗岩製エアベアリング
花崗岩製エアベアリングの核となる特性は、材料、性能、用途への適応性という3つの側面から要約できます。
材料特性の利点
- 高い剛性と低い熱膨張係数：花崗岩は優れた物理的安定性を持ち、温度変化が精度に与える影響を軽減します。
- 耐摩耗性と低振動性：石材表面の精密加工とエアフィルムの組み合わせにより、動作時の振動をさらに低減できます。
エアベアリング性能の向上
- 非接触・摩耗なし：エアフィルムによる支持構造により機械的な摩擦が排除され、極めて長い耐用年数を実現します。
- 超高精度：空気膜の均一性と花崗岩の幾何学的精度を組み合わせることで、動作誤差をマイクロメートル／ナノメートルレベルで制御できます。
アプリケーションの適応性における利点
- 高精度機器に最適：リソグラフィー装置や精密測定機器など、厳しい精度要件が求められる場面に最適です。
- メンテナンスコストが低い：機械的な摩耗部品がなく、清潔な圧縮空気を確保するだけで済みます。
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半密閉型花崗岩製空気軸受
エアベアリングステージおよび位置決めステージ用の半密閉型花崗岩製エアベアリング。
花崗岩の空気保持黒御影石製で、0.001mmの超高精度を実現しています。CMM、CNC、精密レーザー加工機、位置決めステージなど、多くの分野で幅広く使用されています。
位置決めステージは、高精度な花崗岩製ベースとエアベアリングを備えた、ハイエンドの位置決め用途向けの位置決めステージです。
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花崗岩製エアベアリング、完全囲い
完全囲い花崗岩空気軸受
花崗岩製エアベアリングは黒御影石で作られています。花崗岩製エアベアリングは、高精度、安定性、耐摩耗性、耐腐食性に優れた花崗岩製表面プレートを備えており、精密な花崗岩表面上で非常にスムーズに動作します。