花崗岩製プラットフォームは、精密測定・加工のための基準ツールとして、その精度維持が生産品質に直接影響を及ぼします。以下では、環境管理、日常メンテナンス、専門的な校正を含む体系的なメンテナンスプランをご紹介します。これにより、プラットフォームがナノメートルレベルの精度を長期にわたって維持できるようになります。
1. 環境制御：精密な保護バリアを構築する
温度と湿度の管理
作業環境温度は20±1℃に安定させる必要があります。1℃の変動ごとに、花崗岩製プラットフォームは0.5～1μm/mの熱変形を起こします。作業場内に恒温システムを設置することで、空調の吹き出し口からの風がプラットフォームに直接当たるのを防ぐことができます。
湿度は40%～60%に管理する必要があります。湿度が高すぎると金属部品に錆が発生しやすくなり、湿度が低すぎると静電気の影響で測定に支障をきたす可能性があります。
振動絶縁
プラットフォームは、プレス機やフライス盤などの振動源から遠ざける必要があります。振動機器から3メートル以上の距離を保つことをお勧めします。
振動を避けられない場合は、プラットフォームの底部に空気ばね式ショックアブソーバーを設置して、環境振動がプラットフォームの平坦性に与える影響を軽減することができます（外部振動を 80% 以上軽減できます）。
2. 日常のメンテナンス：清掃から保護まで細心の注意を払います
表面洗浄仕様
除塵：5μm以上の塵埃粒子がプラットフォームを傷つけるのを防ぐため、毎日、鹿革または糸くずの出ない布で表面を同じ方向に拭いてください。頑固な汚れは、無水エタノール（純度99.7%以上）で優しく拭き取ってください。アセトンなどの強力な溶剤は使用しないでください。
脱脂: 油汚れが付着した場合は、薄めた中性洗剤で拭き取り、脱イオン水ですすいで自然乾燥させ、鉱物油がプラットフォームの微細な孔に浸透するのを防ぎます。
荷物および衝突保護
局所的な過負荷による永久変形を回避するために、プラットフォームの耐荷重は定格荷重の 70% 以内に制御する必要があります (たとえば、1000 kg のプラットフォームの場合、荷重は 700 kg 以下が推奨されます)。
プラットフォーム上でワークを叩くことは厳禁です。工具を扱う際は、鋭利な物体による表面の傷を防ぐため、柔らかい手袋を着用してください（20μmを超える深さの傷は、反射光路の測定に影響を与えます）。
3. 専門家による校正：科学的に精度を維持するための核心
キャリブレーションサイクル設定
従来の使用シナリオ: 四半期ごとに校正し、レーザー干渉計を使用して平坦度を検出します (精度 ±0.5μm/m)。
高頻度使用または過酷な環境: 温度に敏感な領域 (熱源に近いプラットフォームの端など) の監視に重点を置いた月次校正。
キャリブレーション後の処理
平面度に偏差（例：±1μm/m以上）が認められる場合は、専門技術者によるW1.5マイクロパウダーを用いた研磨・修復が必要です。サンドペーパーによる自己研磨は固く禁じられています。
校正後、データを記録してアーカイブし、プラットフォームの精度減衰曲線を確立して、メンテナンスの必要性を事前に予測する必要があります。
4. 保管と輸送：隠れた精度の低下を避ける
長期保管のポイント
保管時は防湿・防塵カバーで覆ってください。重力による曲げ変形を防ぐため、底面は3点支持（支持点はプラットフォームの長さの2/9の位置）にしてください（1メートルのプラットフォームは、長期間の1点支持により0.3μmのたわみが生じる可能性があります）。
長期的な局所的な圧力を回避するために、プラットフォームのサポート ポイントの位置を定期的 (毎月) に移動します。
輸送保護計画
短距離輸送: 衝撃吸収フォームで包み、剛性フレーム内に固定し、加速度を 2g 以内に保ちます。
長距離輸送：真空パックし、乾燥窒素を充填する必要があります。到着後、結露水による精度への影響を防ぐため、開梱前に24時間放置し、温度が平衡に達するまで放置してください。
5. 障害予測：早期に問題を特定するための技術
目視検査：40倍の拡大鏡で表面を定期的に観察してください。連続した傷や光沢の著しい低下が見られる場合は、精度が低下している可能性があります。
音の検知：プラットフォームを軽く叩いてください。音がかすれた場合（通常は明瞭な音です）、内部に微小な亀裂が生じている可能性があります。すぐに使用を中止し、検知してください。
このメンテナンスシステムにより、ZHHIMG®花崗岩製プラットフォームは±1μm/mの平坦度を10年間維持することができ、これは適切なメンテナンスが行われていないプラットフォームの精度寿命の3倍以上となります。ある半導体工場でこのソリューションを導入した結果、プラットフォームの校正頻度が50%削減され、年間メンテナンスコストが15万元以上削減されたという実績があります。
投稿日時: 2025年6月18日