花崗岩精密プラットフォームの平坦度の検出方法。

精密製造および科学研究の分野において、花崗岩製精密プラットフォームの平坦度は、機器の精度を保証するための重要な指標です。以下では、いくつかの主流の検出方法とその操作手順について詳しくご紹介します。
I. レーザー干渉計検出法
高精度平坦度検出には、レーザー干渉計が最適なツールです。ZYGO GPI XPレーザー干渉計を例に挙げると、その分解能は0.1nmに達します。検出を行う際は、まず干渉計の光源をプラットフォームに位置合わせし、プラットフォーム表面を50mm×50mmのグリッド領域に分割します。次に、干渉縞データをポイントごとに収集し、ゼルニケ多項式を用いてフィッティングおよび解析することで平坦度誤差を算出します。この方法は高精度プラットフォームに適用でき、0.5μm/m²以下の平坦度誤差を検出できます。フォトリソグラフィー装置やハイエンドの3次元測定機プラットフォームの検出に広く使用されています。
II. 電子レベルアレイ法
電子レベルアレイ検出は操作が簡単で、効率も非常に高いです。TESA A2電子レベル（分解能0.01μm/m）を選択し、プラットフォームのX/Y軸方向に沿って9×9アレイに配置しました。各レベルの傾斜データを同期収集し、最小二乗法を用いて計算することで、正確な平面度値を得ることができます。この手法は、プラットフォームの局所的な凹凸状態を効果的に特定できます。例えば、50mmの範囲内で0.2μmの変動も検出可能で、量産段階における迅速な検出に適しています。
III. 光学平面結晶法
光学平面結晶法は、小面積プラットフォームの検査に適しています。光学平面結晶をプラットフォーム上の検査対象面にしっかりと密着させ、単色光源（ナトリウムランプなど）を照射して、両者の間に形成される干渉縞を観察します。縞模様が平行な直線であれば、良好な平坦性を示します。曲線状の縞模様が現れた場合は、縞模様の曲率に基づいて平坦性誤差を計算します。各曲線状の縞模様は0.316μmの高さ差を表し、簡単な換算で平坦性データを得ることができます。
4. 三次元測定機による検査方法
三次元測定機は、三次元空間における高精度な測定を実現します。花崗岩のプラットフォームを測定機の作業台に置き、プローブを用いてプラットフォーム表面の複数の測定点から均一にデータを収集します。測定機システムはこれらのデータを処理・分析し、プラットフォームの平坦度レポートを生成します。この方法は、平坦度だけでなく、プラットフォームの他の幾何学的パラメータも同時に取得できるため、大型の花崗岩プラットフォームの包括的な検査に適しています。
これらの検出方法を習得することで、花崗岩精密プラットフォームの平坦性を正確に評価し、精密機器の安定した動作を確実に保証できるようになります。