花崗岩のコンポーネントは、XYZT の精密ガントリー移動プラットフォームが半導体製造の精度を保証するのに役立ちます。

半導体製造工場では、チップ製造プロセスにおける環境条件と装置の精度に対する要求は極めて高く、わずかな偏差でもチップ歩留まりの大幅な低下につながる可能性があります。XYZT精密ガントリー移動プラットフォームは、花崗岩製のコンポーネントを採用し、プラットフォームの他の部品と連携することで、ナノスケールの精度を実現するための強固な基盤を構築しています。
優れた振動遮断特性
半導体製造工場では、周辺機器の稼働や作業員の歩行によって振動が発生する可能性があります。花崗岩部品の内部構造は緻密で均一であり、天然の高い減衰特性を備えており、効率的な振動「バリア」の役割を果たします。外部からの振動がXYZTプラットフォームに伝達されると、花崗岩部品は振動エネルギーの80%以上を効果的に減衰し、振動がプラットフォームの動作精度に及ぼす影響を低減します。同時に、プラットフォームには高精度エアフロートガイドシステムが搭載されており、花崗岩部品と連動して動作します。エアフロートガイドは、高圧ガスによって形成される安定したガス膜を利用して、プラットフォーム可動部の非接触浮上動作を実現し、機械的摩擦による微小振動を低減します。これら2つの要素を組み合わせることで、チップリソグラフィーやエッチングなどの主要プロセスにおいて、プラットフォームの位置決め精度が常にナノメートルレベルに維持され、振動によるチップ回路パターンのずれを回避します。
優れた熱安定性
工場内の温度と湿度の変動は、チップ製造装置の精度に大きな影響を与えます。花崗岩の熱膨張係数は非常に低く、一般的に5～7×10⁻⁶/℃で、温度が変化してもサイズはほとんど変化しません。工場内の昼夜の温度差や装置の発熱によって周囲温度が変動しても、花崗岩の部品は安定した状態を保ち、熱膨張や収縮によるプラットフォームの変形を防ぎます。同時に、プラットフォームに搭載されたインテリジェント温度制御システムは、周囲温度をリアルタイムで監視し、空調と放熱装置を自動的に調整して、工場内の温度を20℃±1℃に保ちます。花崗岩の熱安定性の利点と相まって、プラットフォームの長期稼働において、各軸の移動精度が常にチップ製造のナノメートル精度基準を満たし、チップリソグラフィーのパターンサイズが正確で、エッチング深さが均一であることを保証します。
クリーンな環境のニーズを満たす
半導体製造工場では、塵埃によるチップの汚染を防ぐために、高い清浄度を維持する必要があります。花崗岩素材自体は塵埃を発生せず、表面は滑らかで塵埃を吸収しにくい構造となっています。プラットフォーム全体は、外部からの塵埃の侵入を低減するため、全密閉または半密閉構造設計を採用しています。工場内の空気循環システムは、工場のクリーン空調システムと連動しており、工場内の空気清浄度がチップ製造に必要なレベルに達することを保証します。このクリーンな環境では、花崗岩部品は塵埃の浸食によって性能に影響を与えることなく、プラットフォームの高精度センサーやモーターなどの主要部品も安定して動作し、チップ製造においてナノスケールの精度を継続的に確実に保証し、半導体産業のより高いプロセスレベルへの移行に貢献します。