高精度花崗岩製機械ベースがウェーハ検査装置の精度をどのように向上させるか。

I半導体製造業界において、ウェハ検査装置の精度は集積回路の品質確保に不可欠です。ZHHIMG®が提供するような高精度な花崗岩製機械ベースは、こうした装置の性能向上に重要な役割を果たします。その違いについてご紹介します。
卓越した寸法安定性花崗岩は、約(4～8)×10⁻⁶/℃という極めて低い熱膨張係数を誇り、多くの金属よりもはるかに低い値です。半導体工場のような厳密に管理された環境では、わずかな温度変化でも測定誤差が生じる可能性がありますが、花崗岩製の機械ベースは安定した状態を保ちます。この安定性により、ウェハ検査装置における部品の位置決めが正確に行われ、検査結果の精度に影響を与える可能性のある熱による偏差を防ぎます。

優れた振動減衰性生産フロアは、様々な振動源から発生する振動に晒されることがよくあります。花崗岩は、減衰率0.05～0.1という優れた減衰特性を有しており、これらの振動を効果的に吸収・分散します。ウェハ検査など
高解像度の画像撮影と高精度なセンサー読み取りが求められる検査において、花崗岩製のベースによる振動低減は非常に重要です。これにより、画像のぼやけやセンサーデータの歪みを引き起こす可能性のある干渉が最小限に抑えられ、装置はウェハの表面と内部構造に関する鮮明で正確な情報を取得できます。
高い剛性と耐摩耗性ZHHIMG®の花崗岩製マシンベースは、密度が約3100kg/m³と非常に高い剛性を誇ります。ウェーハ検査装置の重量部品を変形することなく支え、光学システムと機械システムのアライメントを維持します。さらに、花崗岩の高い硬度（モース硬度6～7）と優れた耐摩耗性により、マシンベースの表面は長期間にわたり平坦で滑らかな状態を保ちます。この安定性は長期的な精度維持に不可欠です。ベースに摩耗や変形が生じると、装置の精度が徐々に低下する可能性があるためです。
化学的不活性半導体製造工程では様々な化学物質に曝露されます。花崗岩は化学的に不活性であるため、これらの物質による腐食に耐性があります。この特性により、機械ベースの完全性が維持され、検査装置の安定性と精度に影響を与える可能性のある化学物質による損傷を防ぎます。
結論として、高精度の花崗岩製マシンベースは単なる部品ではなく、ウェーハ検査装置の厳格な精度要件を満たすための重要な要素です。花崗岩製マシンベースを選ぶ際には、ZHHIMG®のような信頼できるプロバイダーをお選びください。複数の認証を取得し、品質へのこだわりを持つZHHIMG®は、すべての花崗岩製マシンベースが高度な半導体製造に必要な信頼性と性能を発揮することを保証します。