精密静圧空気浮上プラットフォームで使用される花崗岩精密ベースはどのようにして高精度を実現するのでしょうか?

主に次の主要リンクを通じて行われます。
• 高品質な材料選定：高精度な花崗岩精密基礎を製造するには、まず均一な組織と緻密な構造を持つ花崗岩材料を選定する必要があります。この種の花崗岩は、鉱物粒子が細かく均一に分布しており、高い硬度と強度を備えているため、高精度な平坦性を得るための良好な基礎条件を提供します。例えば、済南グリーン、泰山グリーンなどの高品質な花崗岩は、その安定した物理的特性と優れた加工性から、精密基礎の製造によく使用されます。

• 荒削り成形：大型切削設備を用いて花崗岩の原料をベースとなる完成サイズに近いブランクに切断し、後工程の微細加工のための余裕を持たせます。この段階では、ダイヤモンドソーブレードなどの切削工具を用いて、正確なCNCプログラミングにより切削速度、送り速度、切削経路を制御し、切断面の平坦性と垂直性を確保します。また、平坦度誤差を一定範囲内に抑えることで、後工程でより均一なビレットが得られます。
• 微研削：粗加工後の花崗岩ベースは、高精度の平坦度を実現するための重要な工程である微研削が必要です。通常、研削盤が使用され、さまざまなサイズの研削ホイールまたは研削ディスクが装備されており、粗粒度から細粒度まで段階的に研削が行われます。まず、粗い研磨材を使用して加工代の大部分を素早く除去し、平坦度を初期に向上させます。次に、より細かい研磨材に変更して微研削を行い、表面粗さをさらに低減し、平坦度の精度を向上させます。研削工程では、研削圧力、研削速度、研削時間を正確に制御し、遊星研削や両面研削などの高度な研削プロセスを使用することで、花崗岩ベース表面の平坦度を継続的に向上させます。

• 高精度測定とフィードバック：加工工程では、高精度測定機器を用いて花崗岩ベースの平坦度をリアルタイムで測定・監視する必要があります。一般的に使用される測定機器には、レーザー干渉計、電子水準器、座標測定器などがあります。レーザー干渉計は、光干渉の原理を利用してレーザー光を照射し、平面の平坦度をナノメートル単位の精度で正確に測定します。測定機器は測定データを加工装置の制御システムにフィードバックし、制御システムはフィードバックデータに基づいて研削位置、圧力などの加工パラメータを自動的に調整し、平坦度誤差を修正して閉ループ制御を実現し、平坦度が常に設計要件に近づくようにします。
• 表面処理と研磨：研削後、花崗岩基材の表面を研磨し、表面品質と平坦性をさらに向上させる必要があります。研磨工程では、研磨ホイールと研磨液を用いて化学的・機械的作用により表面の微細な欠陥を除去し、表面をより滑らかで平坦にすることで、最終的な高精度平坦度要件を達成します。同時に、イオンビーム研磨、磁気レオロジー研磨などの高度な研磨技術も花崗岩精密基材の加工に適用され、より高精度な表面研磨を実現し、超精密加工のニーズに対応します。