ウェーハ処理装置製品用の Granite マシンベースを組み立て、テスト、校正する方法

花崗岩のマシンベースは、高い剛性、安定性、精度などの優れた特性により、ウェーハ処理装置製品に多用されています。花崗岩の機械ベースの組み立て、テスト、校正は、細部、精度、精度に細心の注意を払う必要がある重要なプロセスです。この記事では、ウェーハ処理装置製品用の花崗岩マシンベースの組み立て、テスト、および校正の段階的なプロセスについて説明します。

組み立て

最初のステップは、花崗岩の定盤、ベース、柱を組み立てるために準備することです。すべての表面が清潔で乾燥しており、破片、ほこり、油がないことを確認してください。レベリングスタッドをベースに挿入し、その上に定盤を置きます。定盤が水平で水平になるようにレベリングスタッドを調整します。定盤がベースおよびコラムと同一平面上にあることを確認してください。

次に支柱をベースに取り付け、ボルトで固定します。トルクレンチを使用して、メーカー推奨のトルク値でボルトを締め付けます。コラムのレベルを確認し、必要に応じてレベル調整スタッドを調整します。

最後に、スピンドルアセンブリをコラムの上部に取り付けます。トルクレンチを使用してメーカー推奨のトルク値でボルトを締めてください。スピンドルアセンブリのレベルを確認し、必要に応じてレベリングスタッドを調整します。

テスト

マシンベースを組み立てたら、次のステップはその機能と精度をテストすることです。電源を接続し、機械の電源を入れます。モーター、ギア、ベルト、ベアリングなどの各部が正常に動作し、異常や異音がないか確認してください。

機械の精度をテストするには、精密ダイヤルインジケータを使用してスピンドルの振れを測定します。ダイヤルインジケータを定盤にセットし、スピンドルを回転させます。最大許容振れは 0.002 mm 未満である必要があります。振れが許容限度を超えている場合は、レベリングスタッドを調整し、再度確認してください。

較正

キャリブレーションは、マシンベースの精度と精度を確保するための重要なステップです。校正プロセスには、速度、位置、精度などの機械のパラメータのテストと調整が含まれ、機械がメーカーの仕様を満たしていることを確認します。

マシンを校正するには、レーザー干渉計、レーザー トラッカー、ボールバーなどの校正ツールが必要です。これらのツールは、機械の動き、位置、アライメントを高精度で測定します。

まず、機械の直線軸と角度軸を測定します。キャリブレーション ツールを使用して、指定された距離または角度にわたるマシンの動きと位置を測定します。測定値をメーカーの仕様と比較してください。偏差がある場合は、測定値が許容範囲内になるように、モーター、ギア、ドライブなどの機械のパラメーターを調整します。

次に、機械の円弧補間機能をテストします。キャリブレーション ツールを使用して円形のパスを作成し、マシンの動きと位置を測定します。再度、測定値をメーカーの仕様と比較し、必要に応じてパラメータを調整します。

最後に、機械の再現性をテストします。指定された期間にわたってさまざまなポイントで機械の位置を測定します。測定値を比較し、偏差がないか確認します。偏差がある場合は、機械のパラメータを調整してテストを繰り返します。

結論

ウェーハ処理装置製品用の花崗岩マシンベースの組み立て、テスト、校正は、忍耐、細部への注意、精度が必要な重要なプロセスです。これらの手順に従うことで、機械がメーカーの仕様と機能を精度、安定性、精度で満たしていることを確認できます。