花崗岩の機械ベースは、高い剛性、安定性、精度などの優れた特性のため、ウェーハ加工装置製品でよく使用されています。花崗岩の機械ベースの組み立て、テスト、およびキャリブレーションは、細部、精度、精度に最大限の注意を要求する重要なプロセスです。この記事では、ウェーハ加工装置製品の花崗岩のベースの組み立て、テスト、および校正の段階的なプロセスについて説明します。
組み立て
最初のステップは、花崗岩の表面プレート、ベース、およびアセンブリ用の列を準備することです。すべての表面がきれいで、乾燥しており、破片、ほこり、またはオイルがないことを確認してください。レベリングスタッドをベースに挿入し、その上に表面プレートを置きます。表面プレートが水平でレベルになるように、レベリングスタッドを調整します。表面プレートがベースと列でフラッシュしていることを確認してください。
次に、ベースに列を取り付け、ボルトで固定します。トルクレンチを使用して、ボルトを製造元の推奨トルク値に引き締めます。列のレベルを確認し、必要に応じてレベリングスタッドを調整します。
最後に、列の上部にスピンドルアセンブリを取り付けます。トルクレンチを使用して、ボルトを製造元の推奨トルク値に引き締めます。スピンドルアセンブリのレベルを確認し、必要に応じてレベリングスタッドを調整します。
テスト
マシンベースを組み立てた後、次のステップは、その機能と精度をテストすることです。電源を接続し、マシンをオンにします。モーター、ギア、ベルト、ベアリングなどのすべてのコンポーネントが適切に機能しており、異常や異常なノイズなしで機能していることを確認してください。
マシンの精度をテストするには、精密ダイヤルインジケーターを使用して、スピンドルのランアウトを測定します。表面プレートにダイヤルインジケーターを設定し、スピンドルを回転させます。最大許容ランアウトは0.002 mm未満でなければなりません。ランアウトが許容制限よりも大きい場合は、レベリングスタッドを調整してもう一度確認してください。
較正
キャリブレーションは、マシンベースの精度と精度を確保するための重要なステップです。キャリブレーションプロセスでは、速度、位置決め、精度などのマシンのパラメーターのテストと調整を行い、マシンがメーカーの仕様を満たすようにします。
マシンを校正するには、レーザー干渉計、レーザートラッカー、またはボールバーを含むキャリブレーションツールが必要です。これらのツールは、機械の動き、位置、および整合性を高精度で測定します。
マシンの線形軸と角角軸を測定することから始めます。キャリブレーションツールを使用して、指定された距離または角度にわたってマシンの動きと位置を測定します。測定値をメーカーの仕様と比較します。偏差がある場合は、モーター、ギア、ドライブなどのマシンのパラメーターを調整して、許容制限内に測定値をもたらします。
次に、マシンの円形補間関数をテストします。キャリブレーションツールを使用して、円形のパスを作成し、マシンの動きと位置を測定します。繰り返しますが、測定値をメーカーの仕様と比較し、必要に応じてパラメーターを調整します。
最後に、マシンの再現性をテストします。指定された期間にわたってさまざまなポイントで機械の位置を測定します。測定された値を比較し、逸脱を確認します。逸脱がある場合は、マシンのパラメーターを調整して、テストを繰り返します。
結論
ウェーハ加工装置製品のための花崗岩の機械ベースの組み立て、テスト、および校正製品は、忍耐、細部への注意、精度を必要とする重要なプロセスです。これらの手順に従うことにより、マシンがメーカーの仕様と機能を正確、安定性、精度で満たすことを確認できます。
投稿時間：12月28日 - 2023年