ウェーハ処理装置製品用花崗岩製機械ベースの組み立て、テスト、校正方法

花崗岩製の機械ベースは、高い剛性、安定性、精度といった優れた特性から、ウェーハ処理装置製品に広く使用されています。花崗岩製の機械ベースの組み立て、試験、校正は、細部へのこだわり、精度、正確さへの細心の注意を要する重要なプロセスです。この記事では、ウェーハ処理装置製品向けの花崗岩製機械ベースの組み立て、試験、校正のプロセスを段階的に解説します。

組み立て

最初のステップは、花崗岩製の定盤、ベース、柱を組み立てるための準備です。すべての表面が清潔で乾燥しており、ゴミ、埃、油などがないことを確認してください。レベル調整スタッドをベースに差し込み、その上に定盤を置きます。定盤が水平になるようにレベル調整スタッドを調整します。定盤がベースと柱と面一になっていることを確認してください。

次に、支柱をベースに取り付け、ボルトで固定します。トルクレンチを使用して、メーカー推奨のトルク値でボルトを締め付けます。支柱の水平を確認し、必要に応じてアジャスターを調整します。

最後に、スピンドルアセンブリをコラムの上部に取り付けます。トルクレンチを使用して、ボルトをメーカー推奨のトルク値で締め付けます。スピンドルアセンブリの高さを確認し、必要に応じてアジャスターを調整します。

テスト

機械のベースを組み立てたら、次は機能と精度をテストします。電源を接続し、機械の電源を入れます。モーター、ギア、ベルト、ベアリングなどのすべての部品が正常に機能し、異常や異音がないか確認します。

機械の精度を検査するには、精密ダイヤルゲージを用いてスピンドルの振れを測定します。ダイヤルゲージを定盤にセットし、スピンドルを回転させます。振れの最大許容値は0.002mm未満である必要があります。振れが許容値を超える場合は、レベル調整スタッドを調整して再度点検してください。

較正

キャリブレーションは、機械ベースの精度と精密性を確保するための重要なステップです。キャリブレーションプロセスでは、速度、位置決め、精度などの機械パラメータをテストおよび調整し、機械がメーカーの仕様を満たしていることを確認します。

機械のキャリブレーションには、レーザー干渉計、レーザートラッカー、ボールバーなどのキャリブレーションツールが必要です。これらのツールは、機械の動き、位置、アライメントを高精度で測定します。

まず、機械の直線軸と角度軸を測定します。キャリブレーションツールを使用して、指定された距離または角度における機械の動きと位置を測定します。測定値をメーカーの仕様と比較します。偏差がある場合は、モーター、ギア、ドライブなどの機械のパラメータを調整し、測定値が許容範囲内になるようにします。

次に、機械の円弧補間機能をテストします。キャリブレーションツールを使用して円弧パスを作成し、機械の動きと位置を測定します。測定値をメーカーの仕様と比較し、必要に応じてパラメータを調整します。

最後に、機械の再現性をテストします。指定された期間内に、機械の位置を異なるポイントで測定します。測定値を比較し、偏差がないか確認します。偏差がある場合は、機械のパラメータを調整してテストを繰り返します。

結論

ウェーハ処理装置製品用の花崗岩製機械ベースの組み立て、試験、および校正は、忍耐、細部への配慮、そして精密さが求められる重要なプロセスです。これらの手順に従うことで、機械がメーカーの仕様を満たし、精度、安定性、そして精密さを備えて機能することを保証できます。