ウェーハ処理のために損傷した花崗岩機ベースの外観を修復し、精度を再調整する方法は?

花崗岩の機械ベースは、ウェーハ加工機に不可欠なコンポーネントです。それらは、マシンがスムーズかつ正確に動作するための安定した正確なプラットフォームを提供します。ただし、頻繁に使用されるため、それらは損傷して摩耗し、外観と精度に影響を与えます。この記事では、損傷した花崗岩の機械ベースの外観を修復し、その精度を再調整する方法について説明します。

損傷した花崗岩の機械ベースの外観の修復:

ステップ1:表面をきれいにします - 花崗岩の機械ベースの修復を開始する前に、その表面が清潔で破片や汚れがないことを確認してください。湿った布で拭き、乾燥させます。

ステップ2:チップまたは亀裂を満たします - 表面にチップまたは亀裂がある場合は、花崗岩の修復エポキシまたは貼り付けで満たします。花崗岩の色に合ったシェードを使用して、均等に適用してください。

ステップ3:表面に砂を磨く - エポキシまたはペーストが乾燥したら、細かい砂糖を使用して花崗岩の機械ベースの表面を砂を磨きます。これは、表面を滑らかにし、余分な残留物を除去するのに役立ちます。

ステップ4:表面を磨きます - 花崗岩の研磨化合物を使用して、花崗岩の機械ベースの表面を磨きます。化合物を柔らかい布に塗り、円の動きで表面を磨きます。表面が滑らかで光沢があるまで繰り返します。

破損した花崗岩の機械ベースの精度を再調整します。

ステップ1:精度を測定します。精度の再調整を開始する前に、レーザー干渉計またはその他の測定ツールを使用して、花崗岩機ベースの現在の精度を測定します。

ステップ2:水平さを確認します - 花崗岩の機械ベースが水平であることを確認してください。スピリットレベルを使用して、レベルネスを確認し、必要に応じてレベリングフィートを調整します。

ステップ3:平坦性を確認してください - 花崗岩の機械ベースの反りまたはお辞儀を確認してください。精密な平坦度ゲージを使用して、平坦性を測定し、調整が必要な領域を特定します。

ステップ4:スクレイピング - 調整が必要な領域を特定したら、手削りツールを使用して花崗岩のベースの表面をこすります。これにより、表面の高いスポットを除去し、滑らかで均一な表面を確保するのに役立ちます。

ステップ5:精度を再測定します - スクレイピングが完了したら、レーザー干渉計または測定ツールを使用して、花崗岩の機械ベースの精度を再測定します。必要に応じて、精度が必要な仕様を満たすまで、スクレイピングプロセスを繰り返します。

結論として、花崗岩の機械ベースはウェーハ加工機の不可欠な部分であり、外観と精度を確保するために定期的なメンテナンスが必要です。花崗岩の機械ベースが損傷している場合は、次の手順に従ってその外観を修復し、その精度を再調整します。これらの簡単な手順を使用すると、花崗岩の機械ベースを元の状態に復元し、最適なパフォーマンスを確保できます。

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投稿時間:07-2023年11月