花崗岩製の機械台は、ウェハ加工機に不可欠な部品です。機械がスムーズかつ正確に動作するための、安定性と精度の高いプラットフォームを提供します。しかし、頻繁に使用すると損傷や摩耗が生じ、外観や精度に影響を与える可能性があります。この記事では、損傷した花崗岩製の機械台の外観を修復し、精度を再調整する方法について説明します。
損傷した花崗岩の機械ベースの外観を修復する:
ステップ1：表面をきれいにする - 花崗岩製の機械台座の修理を始める前に、表面がきれいで、ゴミや汚れがないことを確認してください。湿らせた布で拭き、乾燥させてください。
ステップ2：欠けやひび割れを埋める - 表面に欠けやひび割れがある場合は、花崗岩補修用エポキシ樹脂またはペーストで埋めます。花崗岩の色に合った色合いを使用し、均一に塗布してください。
ステップ3：表面を研磨する - エポキシ樹脂またはペーストが乾いたら、目の細かいサンドペーパーを使って花崗岩製の機械台の表面を研磨します。これにより表面が滑らかになり、余分な残留物を取り除くことができます。
ステップ4：表面を磨く - 花崗岩製の研磨剤を使って、花崗岩製の機械台の表面を磨きます。柔らかい布に研磨剤を含ませ、円を描くように表面を磨きます。表面が滑らかで光沢が出るまで繰り返します。
損傷した花崗岩の機械ベースの精度の再調整:
ステップ 1: 精度の測定 - 精度の再調整を開始する前に、レーザー干渉計またはその他の測定ツールを使用して、花崗岩の機械ベースの現在の精度を測定します。
ステップ2：水平確認 - 花崗岩製の機械台が水平になっていることを確認します。水準器を使って水平を確認し、必要に応じて水平調整脚を調整します。
ステップ3：平面度の確認 - 花崗岩製の機械台座に反りや曲がりがないか確認します。精密平面度計を使用して平面度を測定し、調整が必要な箇所を特定します。
ステップ4：削り取り - 調整が必要な箇所を特定したら、手持ちの削り取り工具を使って花崗岩製の機械台の表面を削り取ります。これにより、表面の凹凸がなくなり、滑らかで均一な表面が確保されます。
ステップ5：精度の再測定 - 削り取りが完了したら、レーザー干渉計または測定ツールを使用して、花崗岩製の機械ベースの精度を再測定します。必要に応じて、精度が要求仕様を満たすまで削り取り工程を繰り返します。
結論として、花崗岩製の機械ベースはウェハ処理機の不可欠な部分であり、外観と精度を維持するために定期的なメンテナンスが必要です。花崗岩製の機械ベースが損傷した場合は、以下の手順に従って外観を修復し、精度を再調整してください。これらの簡単な手順で、花崗岩製の機械ベースを元の状態に戻し、最適なパフォーマンスを確保できます。
投稿日時: 2023年11月7日