花崗岩のマシンベースは、ウェーハ処理マシンに不可欠なコンポーネントです。これらは、機械がスムーズかつ正確に動作するための安定した正確なプラットフォームを提供します。ただし、頻繁に使用すると損傷したり磨耗したりして、外観や精度に影響を与える可能性があります。この記事では、損傷した花崗岩のマシンベースの外観を修復し、精度を再調整する方法について説明します。
損傷した花崗岩の機械ベースの外観を修復する:
ステップ 1: 表面をきれいにする - 花崗岩のマシンベースの修理を開始する前に、表面がきれいで、破片や汚れがないことを確認してください。湿らせた布で拭き、乾燥させてください。
ステップ 2: 欠けや亀裂を埋める - 表面に欠けや亀裂がある場合は、花崗岩の修復用エポキシまたはペーストで埋めます。必ず御影石の色に合わせた色合いを使用し、均一に塗布してください。
ステップ 3: 表面を研磨する - エポキシまたはペーストが乾燥したら、目の細かいサンドペーパーを使用して御影石マシン ベースの表面を研磨します。これにより、表面が滑らかになり、余分な残留物が除去されます。
ステップ 4: 表面を磨く - 花崗岩の研磨剤を使用して、花崗岩のマシンベースの表面を磨きます。コンパウンドを柔らかい布に塗布し、円を描くように表面を磨きます。表面が滑らかで光沢があるまで繰り返します。
損傷した花崗岩の機械ベースの精度を再調整する:
ステップ 1: 精度を測定する - 精度の再校正を開始する前に、レーザー干渉計またはその他の測定ツールを使用して、御影石マシン ベースの現在の精度を測定します。
ステップ 2: 水平度を確認する - 花崗岩のマシンベースが水平であることを確認します。水準器を使用して水平度を確認し、必要に応じて水平調整脚を調整します。
ステップ 3: 平坦度を確認する - 花崗岩の機械ベースの反りや曲がりがないか確認します。精密平坦度ゲージを使用して平坦度を測定し、調整が必要な領域を特定します。
ステップ 4: スクレーピング - 調整が必要な領域を特定したら、手動スクレーピング ツールを使用して花崗岩のマシン ベースの表面を削ります。これにより、表面上の高いスポットが取り除かれ、滑らかで均一な表面が保証されます。
ステップ 5: 精度を再測定する - スクレーピングが完了したら、レーザー干渉計または測定ツールを使用して花崗岩の機械ベースの精度を再測定します。必要に応じて、精度が要求仕様を満たすまで削りプロセスを繰り返します。
結論として、花崗岩のマシンベースはウェーハ処理マシンの不可欠な部分であり、外観と精度を確保するために定期的なメンテナンスが必要です。花崗岩のマシンベースが損傷している場合は、次の手順に従って外観を修復し、精度を再調整してください。これらの簡単な手順で、御影石マシン ベースを元の状態に復元し、最適なパフォーマンスを確保できます。
投稿時間: 2023 年 11 月 7 日