半導体および光電子製造装置では、花崗岩が主に適用されます。

半導体および光電子製造装置において、花崗岩は主に精密モーションプラットフォーム、ガイドレールベース、防振支持構造、光学部品設置基板などの主要部品に使用されています。これらの部品は、精度、安定性、耐環境性に関して極めて高い要求が求められます。花崗岩の特性は、半導体および光電子産業の厳しい要求に的確に応えることができます。以下は、具体的な応用シナリオと利点の分析です。
I. 主な適用部品
精密モーションプラットフォーム（フォトリソグラフィー装置やボンディング装置用のウェーハプラットフォームなど）
ウェーハや光学レンズなどの精密部品の搬送に使用され、ナノスケールの精度で並進・回転運動を実現します。
代表的な装置: フォトリソグラフィー装置のワークピーステーブル、測定装置の位置決めプラットフォーム。
ガイドレールベースとフレーム構造
リニアガイドやエア浮上ガイドの取付ベースとして、装置の中核となる動作機構を支えます。
代表的な装置: 半導体パッケージング装置の機械フレーム、光学検査装置。
振動絶縁支持および安定化構造
工場の床や設備の動作時の振動など外部からの振動を遮断し、光学システムや精密機械の安定性を確保します。
代表的なシナリオ: 光学顕微鏡およびレーザー干渉計のベースサポート。
光学部品実装基板
ミラー、プリズム、レーザーなどの光学デバイスを固定して、光路システムの位置合わせ精度の長期安定性を確保します。
代表的な装置: 光電子パッケージング装置、光ファイバー結合システム。