半導体デバイスでは、主にどのコア サブシステムに花崗岩が使用されていますか?

花崗岩は、半導体デバイスで使用される最も一般的な材料の 1 つです。これは硬い火成岩の一種で、灰色、ピンク、白などのさまざまな色合いがあります。花崗岩は耐久性、低い熱膨張係数、優れた熱伝導率で知られており、半導体デバイスのサブシステムでの使用に理想的な材料です。

半導体デバイスで花崗岩を利用する主要なサブシステムの 1 つは、ウェーハのハンドリングおよび処理サブシステムです。このサブシステムは、半導体デバイスの製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。ウェーハはデバイスの開始基板であり、ハンドリングおよび処理サブシステムは、異なるチャンバーと処理装置の間でウェーハを搬送する役割を担います。花崗岩は、高精度で平坦なウェーハハンドリング表面を作成するために使用され、ウェーハ処理のための安定したプラットフォームを提供します。

花崗岩を使用するもう 1 つの重要なサブシステムは、真空サブシステムです。半導体デバイスでは、製造中の汚染を避けるために真空チャンバーが使用されます。このシステムが効果的に機能するには、チャンバーが完全に密閉されている必要があり、そこで花崗岩の出番です。花崗岩はガス放出率が非常に低く、安定した真空環境を維持できるため、真空チャンバーに理想的な素材です。さらに、花崗岩の高い加工精度により、完璧なシールを作成でき、ウェーハ処理に信頼性の高い真空環境を提供します。

アライメント サブシステムは、花崗岩のユニークな特性を利用するもう 1 つの重要なシステムです。このサブシステムは、半導体デバイスのさまざまな部分を正確に位置合わせする役割を果たします。アライメントステージの設計・構造には御影石を採用し、高い剛性と安定性を確保しています。花崗岩の高い剛性は、高い位置合わせ精度の実現に役立ち、高精度で信頼性の高い半導体デバイスの製造につながります。

最後に、計測サブシステムは、花崗岩を使用する半導体デバイスの別のシステムです。計測はウェーハ処理において重要な役割を果たしており、このサブシステムの精度はデバイスの品質を保証する上で非常に重要です。花崗岩は、振動を軽減し、温度変動の影響を最小限に抑えるのに役立つ、安定した硬いプラットフォームを提供します。これは、計測サブシステムでの高精度の測定の実現に役立ち、高品質の半導体デバイスの生産につながります。

結論として、花崗岩は半導体デバイスの製造において重要な材料です。高剛性、低熱膨張、優れた熱伝導率などのユニークな特性により、ウェーハのハンドリングと処理、真空サブシステム、位置合わせサブシステム、計測サブシステムなど、半導体デバイスのいくつかのサブシステムにとって優れた材料となっています。さらに、半導体デバイスでの花崗岩の使用は、多くの産業を変革する高精度、信頼性、効率的なデバイスの製造に役立ちました。