半導体機器では、どの部品が花崗岩材料を使用する必要がありますか？

n半導体製造の世界では、高品質のチップを生産するために正確で正確な機器が重要です。特定の特性を備えた材料を使用して信頼性の高い高精度操作を確保する必要がある半導体製造施設には、多くの部分があります。

半導体機器の標準的なコンポーネントになった材料の1つは、花崗岩です。その強度と安定性で知られる花崗岩は、半導体機器で使用されるコンポーネントを構築および製造するための優れた材料です。ここでは、花崗岩材料を一般的に使用する半導体機器の一部です。

1。ベースプレート

半導体装置のベースプレートは、温度の振動と変動を最小限に抑えるために非常に平らで安定している必要があります。花崗岩は、これらの要件を満たすことができる数少ない材料の1つです。花崗岩は、ゆがみと熱の膨張に抵抗する寸法的に安定した材料であり、ベースプレートが時間の経過とともにその平坦性を維持することを保証します。

2。ステージ

ステージは、ウェーハのポジショニング、エッチング、堆積などの製造プロセスに正確な動きを実行する半導体機器の重要なコンポーネントです。花崗岩のステージは、剛性が高い、熱膨張が少ない、優れた減衰特性のために、半導体機器で広く使用されています。花崗岩の段階では、動きがより正確になり、機器の故障のリスクが低くなります。

3。線形ガイド

線形ガイドは、2つの平行なレールに沿って線形運動を提供する機械的デバイスです。それらは非常に安定して正確である必要があり、花崗岩はこの目的のための理想的な材料です。花崗岩の高い剛性と減衰特性は、半導体機器で使用される線形ガイドに人気のある選択肢となり、製造プロセスの安定性と精度を確保します。

4。チャックス

チャックは、さまざまな製造プロセス中にウェーハを保持および配置するために使用されます。花崗岩のチャックは、その平坦さと熱安定性のために人気があります。花崗岩の熱膨張が少ないため、この材料から作られたチャックは、温度変化にさらされたときに寸法をゆがめたり変化させたりしません。

5。検査プレート

検査プレートは、半導体機器で製造された製品の品質を確認するために使用されます。これらのプレートは非常に平らで安定しており、光を正確に反映できる必要があります。花崗岩の高い反射率、表面の平坦性、および寸法の安定性により、半導体機器の検査プレートに人気のある選択肢になります。

結論として、花崗岩の要素は半導体機器の精密部品に広く使用されており、その使用が優れた特性により拡大すると予測されています。高剛性、熱膨張率が低く、優れた減衰特性により、花崗岩の要素は、半導体機器でナノスケール操作を実行するために必要な安定性、精度、および再現性を提供します。高品質の半導体機器を生産する企業は、製品に成功するための最良の機会を提供するために最適な材料に投資しており、花崗岩はその優れた特性と信頼性のために引き続き頼りになる材料であり続けています。