ウェーハ移動システムのどの部分で花崗岩材料が使用されていますか？

花崗岩の材料は、高安定性、熱膨張の低さ、腐食に対する高い抵抗など、優れた特性のために、半導体産業で広く使用されています。これらの特性により、花崗岩は、ウェーハ移動システムに高精度成分を構築するのに理想的な材料になります。

半導体製造プロセスでは、ウェーハ移動システムは、製造プロセスのさまざまな段階でウェーハを輸送する上で重要な役割を果たします。精度と精度は、わずかな逸脱でさえプロセス全体を危険にさらす可能性があるため、これらのシステムの重要な要件です。したがって、ウェーハ移動システムのコンポーネントは高品質の材料から作成する必要があり、花崗岩はそれらの基準を満たしています。

花崗岩の材料から作られたウェーハ転送システムの一部は次のとおりです。

1。真空チャックテーブル

真空チャックテーブルは、プロセス中にウェーハを保持するために使用され、ウェーハが損傷しないように安定した表面を持つ必要があります。花崗岩は、高い安定性と精度を提供する平らで非多孔質の表面を備えているため、このテーブルを作成するのに理想的な材料です。さらに、花崗岩は熱膨張係数が低いため、ウェーハの寸法変化を引き起こす可能性のある温度変化に耐性があります。

2。空気帯段階

空気を吸う段階は、製造プロセスのさまざまな段階を介してウェーハを輸送するために使用されます。ステージは、高精度と安定性を必要とする摩擦のない動きを提供するように設計されています。花崗岩は、硬くて硬い石であり、変形に抵抗し、時間の経過とともに摩耗するため、このアプリケーションで使用されます。

3。線形動作ガイド

線形モーションガイドは、空気を吸う段階を導くために使用され、エラーを最小限に抑えるために正確に配置する必要があります。花崗岩は、優れた機械的安定性と強度を持つため、このガイドを構築するために使用されます。材料も耐性耐性であり、ガイドシステムの寿命を保証します。

4。メトロロジー機器

メトロロジー機器は、製造プロセス中のウェーハの寸法と特性を測定するために使用されます。花崗岩は、この機器が高い剛性、低い膨張、負荷の下での最小限の変形を備えているため、この機器を構築するのに理想的な材料です。さらに、花崗岩の熱安定性により、メトロロジー装置が時間の経過とともに安定して正確なままであることが保証されます。

結論として、半導体産業は精度と精度に依存しており、花崗岩の材料は、製造プロセスで非常に信頼性が高く安定していることが証明されています。高い安定性、精度、および低熱膨張を必要とするウェーハ移動システムに多くの重要なコンポーネントがあるため、エンジニアはこれらの重要な要件を満たすために花崗岩の材料に目を向けています。