ウエハ搬送システムのどの部分に花崗岩材料が使用されていますか?

花崗岩材料は、高い安定性、低い熱膨張、高い耐腐食性などの優れた特性により、半導体産業で広く使用されています。これらの特性により、花崗岩はウェーハ搬送システムの高精度コンポーネントを構築するのに理想的な材料となります。

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ搬送システムは、製造プロセスのさまざまな段階にわたってウェーハを搬送する上で重要な役割を果たします。わずかなずれでもプロセス全体が危険にさらされる可能性があるため、これらのシステムには精度と精度が不可欠な要件です。したがって、ウェーハ搬送システムのコンポーネントは高品質の材料で作られている必要があり、花崗岩はその基準を満たしています。

花崗岩材料で作られたウェーハ搬送システムの一部の部品には次のものがあります。

1.真空チャックテーブル

真空チャックテーブルはプロセス中にウェーハを保持するために使用され、ウェーハが損傷しないように安定した表面を備えている必要があります。花崗岩は、高い安定性と精度を提供する平坦で非多孔質の表面を備えているため、このテーブルの製造に理想的な材料です。さらに、花崗岩は熱膨張係数が低いため、ウェーハの寸法変化を引き起こす可能性のある温度変化に耐性があります。

2.エアベアリングステージ

エアベアリングステージは、製造プロセスのさまざまな段階でウェーハを搬送するために使用されます。ステージは摩擦のない動きを実現するように設計されており、高い精度と安定性が求められます。花崗岩は硬くて硬い石であり、時間の経過による変形や摩耗に強いため、この用途に使用されます。

3. 直動ガイド

リニア モーション ガイドはエア ベアリング ステージのガイドに使用され、誤差を最小限に抑えるために正確に位置決めする必要があります。このガイドの製造には、機械的安定性と強度に優れた花崗岩が使用されています。この材料は耐食性も備えているため、ガイドシステムの寿命が長くなります。

4. 計測機器

計測機器は、製造プロセス中にウェーハの寸法と特性を測定するために使用されます。花崗岩は、剛性が高く、膨張が低く、荷重時の変形が最小限であるため、この機器の構築に理想的な材料です。さらに、花崗岩の熱安定性により、計測機器は長期にわたり安定性と正確性を維持します。

結論として、半導体業界は精度と精度に依存しており、御影石材料は製造プロセスにおいて信頼性が高く安定していることが証明されています。ウェーハ搬送システムの多くの重要なコンポーネントは高い安定性、精度、低熱膨張を必要とするため、エンジニアはこれらの重要な要件を満たすために花崗岩材料に目を向けてきました。