ウェーハ搬送システムのどの部分に花崗岩材料が使用されていますか?

花崗岩は、高い安定性、低熱膨張率、高い耐腐食性といった優れた特性から、半導体業界で広く使用されています。これらの特性により、花崗岩はウェーハ搬送システムにおける高精度部品の製造に最適な材料となっています。

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ搬送システムは、製造プロセスの様々な段階においてウェーハを搬送する上で重要な役割を果たします。わずかな誤差でもプロセス全体に悪影響を及ぼす可能性があるため、これらのシステムには精度と正確さが不可欠​​な要件です。そのため、ウェーハ搬送システムの部品は高品質の材料で作られる必要があり、花崗岩はこれらの基準を満たしています。

ウェーハ搬送システムのうち花崗岩材料で作られている部品には、次のものがあります。

1. 真空チャックテーブル

真空チャックテーブルは、プロセス中にウェハを保持するために使用され、ウェハに損傷を与えないよう安定した表面が必要です。花崗岩は、平坦で多孔質のない表面を持つため、高い安定性と精度が得られるため、このテーブルの製造に最適な材料です。さらに、花崗岩は熱膨張係数が低いため、ウェハの寸法変化を引き起こす可能性のある温度変化にも耐性があります。

2. エアベアリングステージ

エアベアリングステージは、製造工程の様々な段階でウェハを搬送するために使用されます。このステージは摩擦のない動きを実現するように設計されており、高い精度と安定性が求められます。この用途では、花崗岩が使用されています。花崗岩は硬くて硬い石であり、経年変化による変形や摩耗に強いためです。

3. 直線運動ガイド

エアベアリングステージのガイドにはリニアモーションガイドが使用され、誤差を最小限に抑えるためには正確な位置決めが不可欠です。このガイドには、優れた機械的安定性と強度を持つ花崗岩が使用されています。また、耐腐食性にも優れているため、ガイドシステムの長寿命化が保証されます。

4. 計測機器

計測装置は、製造工程においてウェハの寸法と特性を測定するために使用されます。花崗岩は、高い剛性、低い膨張率、そして荷重下における最小限の変形という特性を持つため、この装置の製造に最適な材料です。さらに、花崗岩の優れた熱安定性により、計測装置は長期にわたって安定性と精度を維持します。

結論として、半導体業界は精度と正確性に大きく依存しており、花崗岩材料は製造プロセスにおいて高い信頼性と安定性を備えていることが実証されています。ウェーハ搬送システムには、高い安定性、精度、そして低熱膨張が求められる重要な部品が数多く存在するため、エンジニアはこれらの重要な要件を満たすために花崗岩材料に注目しています。