リニアモーターと花崗岩ベースの組み合わせは、その優れた性能により、高精度と安定性が求められる多くの分野で広く利用されています。ハイエンド製造、科学研究・試験、医療機器といった分野から、その応用シナリオを詳しくご紹介します。
1. 半導体製造：半導体チップ製造のリソグラフィー工程では、リニアモーターがリソグラフィー装置の露光ヘッドを駆動し、高速・高精度のスキャン動作を行います。優れた安定性を持つ花崗岩ベースは、外部の振動干渉を効果的に遮断し、露光ヘッドの正確な位置決めを確保し、リソグラフィーパターンの精度を確保し、チップ製造におけるナノスケールの精度の厳しい要件を満たし、チップ製造の歩留まりを大幅に向上させます。チップパッケージングリンクでは、リニアモーターがパッケージング装置の機械アームを駆動して精密な操作を行い、花崗岩ベースが機械アームに安定した支持を提供することで、機械アームがチップをピンに正確に接続し、パッケージングの品質と効率を向上させます。
2. 電子機器製造：スマートフォン画面のフィッティング工程において、リニアモーターはフィッティング装置のインデンターを押し込み、正確な力と速度で作動させます。花崗岩ベースの高精度平面により、インデンターは常に水平に保たれ、画面が均一にフィットし、気泡や位置ずれなどの問題を回避し、製品品質を向上させます。回路基板の高精度穴あけ・フライス加工においては、リニアモーターが加工工具を高速に駆動し、花崗岩ベースの安定性と耐摩耗性により、加工中の工具の正確な位置決めが保証され、工具の摩耗が低減され、回路基板の加工精度と生産効率が向上します。
3. 精密測定：CMMでは、リニアモーターが測定プローブを駆動し、3次元空間内を高速かつ正確に移動させます。花崗岩製のベースは極めて高い平坦性と真直度を備えており、測定プローブに安定した基準を提供し、測定データの精度を保証します。精密部品の寸法検出、形状および位置公差測定などに使用でき、自動車部品製造、航空宇宙などの業界で広く使用されています。レーザー干渉計では、リニアモーターがミラーの動きを制御し、花崗岩製のベースは環境振動や温度変化の影響に効果的に抵抗して干渉光路の安定性を確保し、小さな変位、角度などのパラメータの高精度測定を実現します。これは、光学部品製造、精密機械組立、その他の検出および校正分野で一般的に使用されています。
4. 医療機器：磁気共鳴画像（MRI）装置などのハイエンド医療画像機器では、リニアモーターを用いて検査ベッドを高速かつスムーズに動かしています。花崗岩製の台座は耐衝撃性と熱安定性に優れているため、検査ベッドの移動中にMRIの磁場が干渉されることがなく、画像品質に影響を与えず、医師に鮮明で正確な診断画像を提供します。放射線治療装置では、リニアモーターが放射線源の正確な位置決めを駆動し、腫瘍に正確に照射します。花崗岩製の台座の高い精度と安定性は、放射線源の位置決め精度を確保し、放射線治療の効果を高め、周囲の正常組織へのダメージを軽減します。
5. 航空宇宙部品加工：航空エンジンブレードの精密加工において、リニアモーターは加工工具を駆動し、ブレードの複雑な表面をフライス加工します。花崗岩ベースの高い剛性と安定性は、加工工程における高い切削力に耐え、工具移動の精度を確保し、ブレードの加工精度と表面品質を確保し、航空機エンジン部品の高性能化に対する要求を満たします。衛星部品の製造工程では、花崗岩ベースを備えたリニアモーターは、精密穴あけ、研削などの加工工程に使用され、衛星部品の寸法精度、形状・位置公差が宇宙グレードの基準を満たすことを保証し、宇宙環境における衛星の信頼性の高い運用を保証します。
投稿日時: 2025年3月27日