精密製造と科学研究の最前線では、あらゆるエラーがブレークスルーを阻む「障害」となる可能性があります。高精度な動作制御を実現するための重要な設備である精密静圧空気浮上モーションプラットフォームの性能は、成果の品質と成功に直接関係しています。多くの影響要因の中でも、比類のない特性を持つ花崗岩の基盤は、プラットフォームの優れた性能を保証する中核要素となっています。
花崗岩は、数百万年にわたる地質学的変化を経て、内部構造が緻密かつ均一になり、主に石英、長石、その他の鉱物が密接に絡み合っています。この自然に形成された独特の構造が、花崗岩の基盤に数々の優れた特性を与えています。
非常に安定しており、外部からの干渉から隔離されています
精密静圧エアフローティングプラットフォームにとって、外部環境の振動は精度の天敵です。工場内の大型機械設備の稼働や周囲の交通によって発生する振動は、地面を介して移動プラットフォームに伝達される可能性があります。しかし、花崗岩製のベースは、堅牢な「耐震要塞」のようなものです。複雑な結晶構造が振動を効果的に遮断・減衰し、実用試験ではプラットフォームに伝達される振動振幅を80%以上低減できます。半導体チップ製造工場におけるフォトリソグラフィー工程では、ナノメートルレベルの位置決め精度が求められます。花崗岩製のベースに支えられた精密静圧エアフローティング移動プラットフォームは、複雑な振動環境下でもチップリソグラフィー装置の安定した動作を確保し、回路パターンの彫刻を正確に完了させ、チップ製造の歩留まりを大幅に向上させます。
優れた熱安定性、温度変化を恐れない
多くの材料は温度変化によって膨張と収縮を引き起こし、機器の精度に影響を与えます。しかし、花崗岩製のベースは優れた熱安定性を示し、熱膨張係数は極めて低く、一般的に5～7×10⁻⁶/℃です。天文学分野では、大型望遠鏡レンズの微調整に使用される精密静圧空気浮上移動プラットフォームは、花崗岩製のベースを採用することで、昼夜の急激な温度差があっても、レンズの位置決め精度をサブミクロンレベルに維持することができ、天文学者が遠方の天体の微妙な変化を鮮明に捉え、深宇宙の謎を探求するのに役立っています。
高い硬度と耐摩耗性で長期間の使用を保証します
精密静圧空気浮上プラットフォームは、長期的にはプラットフォームとベースの間に空気浮上支持部が存在するにもかかわらず、ある程度の摩擦が生じます。花崗岩の硬度は高く、モース硬度は6～7に達し、耐摩耗性に優れています。材料科学実験室では、精密静圧空気浮上運動プラットフォームが頻繁に使用されています。その花崗岩ベースは、通常のベースと比較して、長期的な摩擦損失に効果的に抵抗し、プラットフォームのメンテナンスサイクルを50%以上延長し、設備のメンテナンスコストを削減し、科学研究作業の継続性を確保します。
精密静圧空気浮上移動プラットフォームに花崗岩ベースを採用することで、精度、安定性、耐久性を究極的に追求しています。半導体製造、光学機器製造、航空宇宙、科学研究・試験といった極めて厳格な精度が求められる分野において、花崗岩ベースに支えられた精密静圧空気浮上移動プラットフォームは、かけがえのない重要な役割を果たし、様々な産業の高精度化に向けた発展を促進しています。
投稿日時: 2025年4月9日