単軸エアフロート超精密モーションモジュール：優れた精度を実現する花崗岩ベースの鋳造。

精密製造と科学研究の最前線において、超精密モーションコントロールの需要は日々高まっています。高精度直線運動を実現するための重要な機器である超精密単軸エアフローティングモジュールの性能は、最終製品の品質と科学研究成果の精度に直接影響を及ぼします。多くの影響要因の中でも、花崗岩ベースの採用は比類のない優位性をもたらし、優れた精度を保証する中核要素となっています。
花崗岩は、数百万年にわたる地質学的変化を経て、内部構造が極めて緻密かつ均一です。主に石英、長石などの鉱物で構成されており、この独特な材料組成が花崗岩に優れた物理的特性を与えています。単軸エアフロート超精密モーションモジュールのベースとして使用した場合、花崗岩はまず極めて高い安定性を示します。一般的な金属材料ベースと比較して、花崗岩ベースは温度変動や機械的振動などの外部環境外乱に対してより強い変形抵抗を示します。電子チップ製造プロセスでは、チップリソグラフィーの位置決め精度がナノメートルレベルに達することが求められています。生産現場では、大型設備の動作によって発生する振動や周囲温度のわずかな変化が、リソグラフィー設備のモーション精度に影響を与える可能性があります。花崗岩ベースを備えた単軸エアフロート超精密モーションモジュールは、外部振動を効果的に減衰させ、モーションモジュールに伝達される振動振幅を80%以上低減します。同時に、熱膨張係数が極めて低いため、温度が変化してもベースサイズの変化がほとんどなく、複雑な環境でもエアフローティングモーションモジュールが安定した動作精度を維持できることが保証され、チップリソグラフィーの正確な位置決め基盤が提供され、チップ製造の歩留まりが大幅に向上します。

さらに、花崗岩は耐摩耗性に優れています。超精密単軸エアフロートモジュールは、頻繁に往復運動を行う過程で、エアフロートスライダーとベースの間にガス膜支持部を設けていますが、長期使用により、ある程度の摩擦が生じます。高硬度の特性を持つ花崗岩ベースは、この摩擦による摩耗に効果的に抵抗し、モーションモジュールの耐用年数を延ばします。大学の科学研究室では、微粒子検出実験装置において、大量の正確な実験データを取得するために、単軸エアフロート式超精密モーションモジュールを長期間安定して稼働させる必要があります。花崗岩ベースの高い耐摩耗性により、モーションモジュールの精度は長期間使用後も初期の高精度レベルを維持でき、科学研究の継続性と精度を確実に保ち、研究者がミクロの世界の謎を深く探求するのに役立ちます。
花崗岩ベースを備えた単軸エアフロート超精密モーションモジュールは、精密製造と科学研究における精密な「ナビゲーター」のようなものです。優れた安定性と耐摩耗性を備えた花崗岩ベースは、エアフロートモーションモジュールの高精度な動きに強固な支持を提供し、半導体製造、光学機器製造、ハイエンド科学研究など、様々な精密要求分野において、かけがえのない重要な役割を果たし、業界を高精度・高品質へと導きます。