半導体ウェーハテストテーブルに花崗岩ベースを選択する利点。

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半導体業界において、ウェハ検査はチップの品質と性能を保証する上で重要な要素であり、検査台の精度と安定性は検査結果に決定的な役割を果たします。独自の特性を持つ花崗岩製ベースは、半導体ウェハ検査台にとって理想的な選択肢となり、多次元分析を可能にします。

まず、精度保証寸法
1. 極めて高い平坦性と真直度：花崗岩製のベースは高度な加工技術によって加工されており、平坦度は±0.001mm/m以上の精度を達成し、真直度も優れています。ウェーハ検査工程では、高精度の平面がウェーハを安定的に支持し、検査装置のプローブとウェーハ表面のはんだ接合部との正確な接触を保証します。
2. 非常に低い熱膨張係数：半導体製造は温度変化に敏感ですが、花崗岩の熱膨張係数は非常に低く、通常約5×10⁻⁶/℃です。検出プラットフォームの稼働中は、周囲温度が変動しても、花崗岩ベースのサイズはほとんど変化しません。例えば、夏の高温作業場では、一般的な金属ベースの検出プラットフォームの温度によって、ウェハと検出装置の相対位置がずれ、検出精度に影響を与える可能性があります。花崗岩ベースの検出プラットフォームは安定性を維持し、検出プロセス中のウェハと検出装置の相対位置精度を確保し、高精度検出のための安定した環境を提供します。
第二に、安定性の側面
1. 安定した構造と耐振動性：花崗岩は数百万年にわたる地質学的プロセスを経て、内部構造が緻密かつ均一になっています。半導体工場の複雑な環境下において、周辺機器の動作や作業員の歩行によって発生する振動は、花崗岩の土台によって効果的に減衰されます。
2. 長期使用における精度：花崗岩は他の材料と比較して硬度が高く、耐摩耗性に優れ、モース硬度は6～7に達します。花崗岩製のベース表面は、ウェハの頻繁なローディング、アンローディング、検査作業でも摩耗しにくいです。実際の使用データ統計によると、花崗岩製のベース試験台を使用した場合、5000時間連続運転後でも、平坦度と真直度の精度は初期精度の98%以上を維持できます。これにより、定期的な校正やメンテナンスによるベース摩耗による設備の負担を軽減し、事業運営コストを削減し、試験作業の長期安定性を確保します。

3つ目は、クリーンで干渉に強い次元
1. 低発塵：半導体製造環境は高度な清浄度が求められますが、花崗岩素材自体は安定しており、粉塵粒子を発生しにくい構造です。テストプラットフォームの動作中、ベースから発生する粉塵がウェーハを汚染することを回避し、粉塵粒子によるショートやオープンのリスクを低減します。無塵工場のウェーハ検査エリアでは、花崗岩ベース検査台周辺の粉塵濃度は常に極めて低いレベルに制御されており、半導体業界の厳しい清浄度要件を満たしています。
2. 磁気干渉なし：検出装置は電磁環境の影響を受けやすいですが、花崗岩は非磁性材料であるため、検出装置の電子信号に干渉しません。電子ビーム検出などの極めて高い電磁環境を必要とする試験技術において、花崗岩ベースは検出装置の電子信号の安定した伝送を確保し、試験結果の精度を保証します。例えば、ウェーハの高精度な電気性能試験において、非磁性の花崗岩ベースは検出電流および電圧信号への干渉を回避し、検出データはウェーハの電気特性を正確に反映します。