花崗岩のエア ベアリング ステージは、半導体やマイクロエレクトロニクス、光学デバイス、衛星の製造やテストで一般的に使用される精密機器の重要な部分です。これらのステージは、薄い空気層によって浮遊し、電磁モーターとリニア エンコーダーによって駆動される移動プラットフォームを収容する花崗岩のベースで構成されています。花崗岩エア ベアリング ステージには多くの独自の品質があり、他の多くの種類のステージよりも好ましい選択肢となっています。
御影石エアベアリングステージの利点:
1. 高精度と精度 – 花崗岩のエアベアリングステージは高レベルの精度を提供し、数ナノメートル以内の精度を維持できます。これは、エラーが最終製品に重大な変化を引き起こす可能性があるリソグラフィーなどのプロセスでは非常に重要です。
2. 高耐荷重 – 花崗岩のエアベアリングステージは、ボールベアリングステージのような他の代替品とは異なり、重い荷重を運ぶことができる頑丈な花崗岩のベースを備えています。この機能により、半導体やマイクロエレクトロニクスの製造に使用される大型のウェーハやツールの取り扱いに最適です。
3. 摩擦のない動きと滑らかさ – 花崗岩のエアベアリングステージは、移動するプラットフォームを空気の薄い層で吊り下げ、プラットフォームとベースの間の接触を排除します。したがって、可動部品間に摩擦がなく、スムーズで振動のない動きが実現されます。
4. 高速機能 – 花崗岩エアベアリングステージに使用されている電磁モーターは高速移動を可能にし、位置決め、スキャン、その他の高精度タスクに最適です。
5. 長寿命と最小限のメンテナンス – ステージの基礎を形成する花崗岩のベースは、優れた剛性、熱安定性、耐摩耗性を備えています。したがって、花崗岩のエア ベアリング ステージは最小限のメンテナンスしか必要とせず、長寿命を実現します。
花崗岩エアベアリングステージの欠点:
1. コスト – 花崗岩のエア ベアリング ステージの設計と製造には高度な技術が使用されているため、多額の投資がかかります。これは、小規模な企業や予算が限られている企業にとっては欠点となる可能性があります。
2. 複雑な設置 – 花崗岩のエアベアリングステージは、設置、校正、操作中に専門知識と専門知識が必要なため、専門家以外にとっては困難です。
3. 振動に対する敏感さ – 花崗岩のエアベアリングステージはスムーズで振動のない動きを実現するように設計されていますが、浮遊プラットフォームの微妙なバランスを乱す外部振動の影響を受ける可能性があります。
結論として、花崗岩エアベアリングステージは、大きな荷重のスムーズかつ高速な移動を必要とする高精度アプリケーションにとって、非常に効果的かつ正確なソリューションです。その堅牢性、耐久性、長寿命により、多くの製造、テスト、研究業務で好まれています。初期コストが高く、設置が複雑であることが欠点かもしれませんが、花崗岩のエア ベアリング ステージによってもたらされる利点は欠点を上回るため、精密機器への優れた投資となります。
投稿日時: 2023 年 10 月 20 日