ウェーハ切断機に ZHHIMG® 花崗岩製機械ベースを使用する利点。

半導体製造プロセスにおいて、ウェハ切断は装置に高い精度と安定性を要求する重要な工程です。ZHHIMG®花崗岩製機械ベースは、ウェハ切断機に使用した場合、いくつかの明確な利点を提供し、この困難な用途に最適な選択肢となります。
卓越した安定性ZHHIMG®花崗岩は、密度が約3100 kg/m³と高く、ウェーハ切断機の堅牢な基盤となります。高い密度により優れた安定性が確保され、切断工程中のあらゆる動きや振動を最小限に抑えます。この安定性は極めて重要です。わずかな振動でも切断ツールが本来の経路から外れ、切断精度の低下やウェーハの不良につながる可能性があるためです。低密度の素材とは異なり、ZHHIMG®花崗岩は切断ヘッドの正確な位置決めを保証し、ウェーハ全体にわたって高品質で均一な切断を実現します。

低熱膨張半導体製造施設では厳格な温度管理が行われていることが多いですが、それでも小さな変動は発生します。ZHHIMG®の花崗岩は熱膨張係数が非常に低いため、製造環境内で温度がわずかに変化しても、花崗岩製の機械ベースは大きく膨張したり収縮したりすることはありません。精密公差がマイクロメートル、あるいはナノメートル単位となるウェーハ切断では、熱による寸法変化が致命的な問題となる可能性があります。ZHHIMG®花崗岩の低熱膨張は、切断機の部品のアライメントを維持し、わずかな温度変化があっても切断プロセスの精度を維持するのに役立ちます。
優れた振動減衰性ウェーハ切断中、切削工具は振動を発生します。これらの振動が効果的に減衰されない場合、ウェーハに伝わり、チッピングなどの損傷を引き起こす可能性があります。ZHHIMG®花崗岩は、天然の振動減衰特性を備えています。長い地質学的時間をかけて形成された内部構造により、振動を素早く吸収・分散します。これは、振動をより容易に伝達する可能性のある金属製の機械ベースに比べて大きな利点です。ZHHIMG®花崗岩製機械ベースは振動を低減することで、よりスムーズな切断作業に貢献し、よりきれいな切断面と高品質のウェーハを実現します。
高い耐摩耗性ウェーハ切断機は、半導体の大量生産において継続的に使用されています。切断工程では、機械ベースに機械的ストレスと摩擦が加わります。ZHHIMG®花崗岩は高い硬度と耐摩耗性を備えているため、機械ベースは長期間にわたりこれらの力に耐え、大きな摩耗を生じることはありません。この耐久性により、機械ベースは長寿命にわたって寸法精度と性能を維持できます。摩耗に起因する頻繁な交換や高額なメンテナンスの必要性が軽減され、半導体メーカーの時間とコストの両方を節約できます。
化学的不活性半導体製造環境では、洗浄、エッチング、その他のプロセスで使用される様々な化学物質に装置がさらされる可能性があります。ZHHIMG®花崗岩は化学的に不活性で、これらの化学物質による腐食に耐性があります。この特性により、強力な化学物質にさらされても、機械ベースの完全性は損なわれません。化学腐食は機械ベースの変形や性能低下につながる可能性があるため、ZHHIMG®花崗岩はウェーハ切断機の安定性と精度を長期にわたって維持するのに役立ちます。
まとめると、ZHHIMG®花崗岩製マシンベースは、安定性、耐熱性、振動減衰性、耐摩耗性、そして化学的不活性性を兼ね備えており、ウェーハ切断機にとって非常に有益です。ウェーハ切断装置のアップグレードまたは新規購入をご検討の場合、ZHHIMG®花崗岩製マシンベースを備えたマシンを選択することは賢明な選択であり、半導体製造プロセスの品質と効率を向上させることができます。