半導体製造プロセスデバイス製品における御影石アセンブリの適用分野

花崗岩は硬岩の一種で、半導体製造業界では欠かせない素材となっています。その特性により高温に耐えることができるため、半導体デバイス製造プロセスのさまざまな段階での使用に最適です。その結果、花崗岩アセンブリは、半導体製造プロセスのデバイス製品において広範な応用分野を見出しました。

花崗岩アセンブリの最も利用されている用途の 1 つは、高精度の工作機械構造の構築です。花崗岩の剛性と安定性により、変形がほとんどまたはまったくない、精密で正確な工具を製造することが可能になります。このレベルの精度は、ビームをウェーハ上に正確に照射する必要があるイオン注入などの半導体製造プロセスで必要です。

半導体製造における花崗岩アセンブリのもう 1 つの用途は、計測機器の構築です。計測機器は、製造されるデバイスの精度を測定および検証するため、半導体製造プロセスにおいて不可欠です。花崗岩の寸法安定性、低熱膨張、優れた振動減衰特性により、計測機器の構築に最適な材料となっています。これには、ウェーハのステージングと検査に使用される大きな花崗岩の表面が含まれます。

光学テーブルは、半導体産業における花崗岩アセンブリの広範な応用分野のさらに 1 つです。光学テーブルは、データ通信用の導波路などの光学デバイスのテストに使用されます。花崗岩の平坦性、低熱膨張、高剛性、機械的安定性により、光学部品の取り付けと位置決めに非常に安定した表面を提供できます。Granite 光学テーブルは、光学デバイスの正確で精密なテストを実行するために必要な安定性と剛性を提供します。

花崗岩は、ウェーハのチャックやステージの構築にも応用されています。半導体製造プロセスでは、正確な位置合わせと位置制御が非常に重要です。処理中にウェーハを所定の位置に保持するウェーハ チャックは、高温や真空条件に耐えながら位置精度を維持する必要があります。花崗岩は、幅広い温度範囲にわたって優れた寸法安定性を持ち、真空条件にも耐えられるため、ウェーハ チャックの構築に最適です。ウェハをある位置から別の位置に移動するために使用されるステージは、半導体製造プロセス中に一連の移動を繰り返します。花崗岩のアセンブリは、継続的かつ反復的な動きのサイクルに耐えるのに必要な安定性と耐久性を提供します。

要約すると、半導体製造業界における御影石アセンブリの用途は広範囲に及びます。寸法安定性、低熱膨張、高剛性、振動減衰などの特性により、半導体デバイス製造プロセスのさまざまな段階で使用するのに理想的な材料です。高精度の工作機械や計測機器の構築から、光学テーブル、ウェーハステージやチャックに至るまで、花崗岩の特性は、高品質の半導体デバイス製造を達成するために必要な安定性、精度、再現性を提供する上で重要な役割を果たしています。