半導体製造：チップ製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程では、回路パターンをウェハに正確に転写する必要があります。単軸エアフローティング超精密モーションモジュールの花崗岩ベースは、リソグラフィー装置内のウェハテーブルに高精度な位置決めと安定した支持を提供します。例えば、ASMLなどの国際的に有名なリソグラフィー装置メーカーは、ハイエンド装置に花崗岩ベースのエアフローティングモーションモジュールを採用しています。このモジュールは、ウェハの位置決め精度をナノメートルレベルで制御し、リソグラフィーパターンの精度を確保することで、チップの集積度と性能を向上させます。
精密測定分野：CMMは工業生産において一般的に使用される精密測定装置であり、ワークのサイズ、形状、位置精度を測定するために使用されます。花崗岩ベースの単軸エアフロート超精密モーションモジュールは、CMMのモーションプラットフォームとして使用でき、高精度な直線運動を実現し、測定プローブに安定した運動軌跡を提供します。例えば、HexagonのハイエンドCMMは、この組み合わせにより、ミクロンレベルの測定精度で大型で複雑な部品を測定し、自動車、航空宇宙などの業界における部品の品質管理に強力な保証を提供します。
航空宇宙分野：航空宇宙部品の加工・試験には、高い精度が求められます。例えば、航空機エンジンブレードの加工では、ブレードのプロファイル精度を確保するために、工具の運動軌跡を精密に制御する必要があります。単軸エアフロート超精密モーションモジュールの花崗岩ベースは、5軸加工センターなどの設備に適用され、工具に高精度なモーション制御を提供し、ブレードの加工精度が設計要件を満たすことを保証します。同時に、航空エンジンの組み立て工程では、高精度測定装置を使用して部品の組み立て精度を検出する必要もあります。花崗岩ベースのエアフロートモーションモジュールは、測定装置に安定した支持と正確な動きを提供し、組み立て品質を確保します。
光学検査分野：光学部品の製造・試験工程では、光学部品の高精度な位置決め・測定が必要です。例えば、ミラーやレンズなどの高精度光学部品を製造する場合、干渉計などの装置を用いて表面形状精度を検出する必要があります。単軸エアフローティング超精密モーションモジュールの花崗岩ベースは、干渉計の移動プラットフォームとして使用することができ、サブミクロンの位置決め精度を実現し、光学部品の検出に正確なデータサポートを提供します。また、レーザー加工装置においても、高精度モーションプラットフォームを用いてレーザービームの走査軌道を制御する必要があり、エアフローティングモーションモジュールの花崗岩ベースはこの要件を満たし、高精度レーザー加工を実現します。
投稿日時: 2025年4月7日