花崗岩は自然に産出する岩石で、ウェーハ処理装置に長い間使用されてきました。低熱膨張、高剛性、良好な安定性という優れた特性で知られています。ただし、他の材料と同様に、花崗岩にもウェーハ処理装置の品質に影響を与える可能性のある独自の欠陥があります。
花崗岩の主な欠点の 1 つは、亀裂や破損が起こりやすいことです。これは、岩石の形成中に発生する可能性のある微小亀裂の存在によるものです。これらの微小亀裂が特定されず、適切に処理されないと、亀裂が広がり、機器の故障につながる可能性があります。これを防ぐために、加工装置メーカーは、微小亀裂がないことを確認するために処理およびテストされた高品質の花崗岩を使用する必要があります。
花崗岩のもう 1 つの欠点は、腐食しやすいことです。花崗岩の機器が腐食環境に接触すると、時間の経過とともに劣化が始まる可能性があります。これにより、機器が損傷したり、正常に機能しなくなる可能性があります。これを防ぐために、メーカーは、機器に使用されている花崗岩が適切に処理され、腐食の発生を防ぐためにコーティングされていることを確認する必要があります。
花崗岩は、その固有の熱特性により、時間の経過とともに歪む傾向があります。これは、花崗岩の熱膨張係数が非常に低いためで、温度変化を受けてもあまり膨張または収縮しません。ただし、わずかな伸縮でも時間の経過とともに機器に歪みが生じる可能性があります。この欠陥の発生を防ぐために、機器メーカーが機器を設計する際に花崗岩の熱特性を考慮することが重要です。
最後に、花崗岩の多孔質な性質は汚染の問題を引き起こす可能性があります。花崗岩が適切に密閉されていないと、ウェーハの品質に影響を与える可能性のある汚染物質を吸収する可能性があります。これにより、コストのかかるダウンタイムや生産の損失が発生する可能性があります。これを防ぐために、メーカーは花崗岩を適切に密閉して汚染物質の吸収を防ぐ必要があります。
結論として、花崗岩はウェーハ処理装置に使用するのに優れた材料です。ただし、その欠陥を認識し、それらの発生を防ぐために必要な予防措置を講じることが重要です。適切なケアとメンテナンスを行えば、花崗岩の装置は長年にわたって機能し続け、半導体業界に高品質のウェーハを提供できます。
投稿日時: 2023 年 12 月 27 日