ウェーハ処理装置用花崗岩機械ベースの欠陥

花崗岩製の機械台は、その優れた安定性と低振動性から、ウェーハ処理装置において非常に人気のある選択肢です。しかしながら、花崗岩製の機械台も完璧ではなく、購入を決定する前に考慮すべき欠点がいくつかあります。

花崗岩製の機械台座の最大の問題点の一つは、その重量です。花崗岩は非常に重い素材であるため、機械台座の輸送、設置、そして機器を移動させる必要がある場合の位置変更が困難になる可能性があります。さらに、機器の重量自体が、固定されている基礎に大きな負担をかけ、ひび割れなどの構造的な損傷につながる可能性があります。

花崗岩製の機械台も、丁寧に扱わないと割れやすい性質があります。花崗岩は脆い素材で、極端な温度や突然の衝撃を受けると簡単に割れてしまいます。これは特に、精密で繊細な操作が求められるウェハ処理装置では問題となり、設定パラメータからのわずかな逸脱でも製品の品質低下につながる可能性があります。

花崗岩製の機械台座のもう一つの問題は、吸湿性が高いことです。多孔質材料である花崗岩は吸湿しやすく、経年劣化により腐食、変色、構造の劣化につながる可能性があります。特に湿度の高い環境や湿気の多い環境で花崗岩製の機械台座を使用する場合、長期間湿気にさらされると機械の健全性が損なわれる可能性があるため、この点は特に懸念されます。

これらの懸念に加えて、Graniteの機械ベースは高価になる可能性があり、一部の中小企業にとっては購入が困難です。また、機器の修理やメンテナンスには専門的なスキルとツールが必要となるため、高額な価格はメンテナンス費用の面でも課題となる可能性があります。

最後に、グラナイト製の機械ベースは、すべてのタイプのウェーハ処理装置に最適な素材ではないことにご注意ください。グラナイトの重量は、一部の装置には理想的かもしれませんが、他の場合には不要な負担をかけたり、精密なウェーハ処理作業を行うには扱いにくい場合があります。

結論として、グラナイト製の機械ベースはウェーハ処理装置において定評のある素材ですが、無視できない独自の限界も存在します。こうした欠点はあるものの、ウェーハ処理工程において安定性、精度、低振動レベルを重視するお客様にとって、グラナイトは依然として価値のある投資であり、適切な手入れとメンテナンスを行うことで、グラナイト製の機械ベースはウェーハ処理装置にとって非常に耐久性と信頼性に優れた選択肢となります。