ウェーハ加工装置製品用の花崗岩の機械ベッドの欠陥

花崗岩は、その並外れた剛性、高い重量、摩耗や腐食に対する優れた抵抗のため、ウェーハ加工装置の機械ベッドに人気のある材料です。ただし、これらの有利な特性があっても、花崗岩の機械ベッドは、機器の性能、精度、および信頼性の低下につながる可能性のある特定の欠陥の免疫にはなりません。この記事では、ウェーハ加工装置のための花崗岩の機械床の最も一般的な欠陥のいくつかを確認し、それらに対処する方法を提案します。

1。ワープと弓

花崗岩は自然の材料であるため、その寸法と平坦性にわずかなばらつきが含まれている可能性があります。これらのバリエーションにより、花崗岩の機械ベッドが時間の経過とともにゆがんだり弓になったりする可能性があり、機器の精度に影響を与える可能性があります。さらに、重い振動または熱サイクリングはこの問題を悪化させる可能性があります。この問題を解決する1つの方法は、より良い寸法の安定性で花崗岩を選択し、フィクスチングを使用して機械のベッドが平らにとどまることを確認することです。

2。チッピングとひび割れ

花崗岩は硬くて脆い材料です。つまり、衝撃やストレスが高くなった場合、簡単にチップまたは亀裂が生じることがあります。これらの欠陥は、機械のベッドが不均一になり、ウェーハ加工装置の動きの滑らかさに影響を与える可能性があります。チッピングと割れを防ぐには、設置と操作中に花崗岩の機械ベッドを扱うことが重要です。さらに、定期的な検査を実行して、できるだけ早く損傷の兆候を検出することをお勧めします。

3。表面の粗さ

花崗岩の機械ベッドの表面は、ウェーハ加工装置が正確かつ確実に動作するようにするために滑らかで平らである必要があります。ただし、機械ベッドの作成に使用される加工プロセスは、機器の性能に影響を与える可能性のある表面の粗さを残す可能性があります。この問題に対処するには、機械加工プロセスを慎重に実行し、適切なツールとテクニックを使用して、望ましい表面仕上げを実現することが重要です。

4。染色と変色

花崗岩の機械のベッドは、化学物質、水、その他の物質への暴露により、時間の経過とともに染色および変色することがあります。これは、機器の審美的な魅力に影響を与え、花崗岩の材料の早期の分解につながる可能性があります。染色と変色を防ぐために、使用後の機器の定期的な拭き取りや乾燥など、適切な清掃とメンテナンスの手順を使用することが重要です。

5。重量の不均一な分布

花崗岩の機械ベッドは重いです。重量が均等に分布していない場合、機器が不安定になり、精度と精度に影響を与える可能性があります。重量が均等に分布するようにするには、設置中にレベラーとサポートスタンドを使用することが重要です。さらに、不均衡を検出するために定期的な体重検査を実行することをお勧めします。

結論として、花崗岩の機械ベッドは、優れた特性により、ウェーハ加工装置に人気のある選択肢です。ただし、パフォーマンス、精度、信頼性に影響を与える可能性のある特定の欠陥に対して免疫はありません。ベストプラクティスに従い、機器をよく世話することにより、これらの問題に対処し、機器が今後数年間最適なレベルで動作するようにすることができます。