半導体製造
リソグラフィ：リソグラフィは半導体製造における重要なプロセスであり、複雑な回路パターンをウェハ上に精密に転写する必要があります。花崗岩製のベース上に設置されたXYT精密アクティブ防振モーションプラットフォームは、リソグラフィ装置に安定した支持と正確な位置決めを提供し、露光工程におけるウェハテーブルの位置精度をナノメートルレベルにまで高めます。これにより、振動や熱変形によるパターンずれを効果的に低減し、チップの製造精度と歩留まりを向上させます。
ウェーハ検査：ウェーハ製造が完了したら、小さな欠陥や不具合を見つけるために高精度に検査する必要があります。XYT高精度アクティブ振動絶縁モーションプラットフォームは、電子ビーム顕微鏡、原子間力顕微鏡などの検出装置を搭載し、検出プロセス中に安定した動きと正確な位置決めを維持します。これにより、検出装置はウェーハ表面を正確にスキャンし、検出解像度と精度を向上させることができます。
光学機器製造
レンズ研削・研磨：光学レンズの製造工程では、良好な光学特性を得るために、レンズを高精度に研削・研磨する必要があります。XYT高精度アクティブ振動遮断移動プラットフォームは、研削・研磨ツールの移動経路を正確に制御するとともに、花崗岩ベースが外部振動を遮断し、振動が加工精度に与える影響を低減することで、レンズ表面の平坦性と仕上げが設計要件を満たすことを保証します。
光学システムの組み立て：光学システムの組み立て工程では、光の正確な伝播と結像品質を確保するために、さまざまな光学部品を特定の位置に正確に設置する必要があります。花崗岩ベースを備えたXYT高精度アクティブ防振モーションプラットフォームは、光学部品の設置と調整のための安定したプラットフォームを提供し、精密なモーション制御により光学部品の高精度なアライメントと組み立てを実現します。
航空宇宙
慣性航法システム試験：慣性航法システムは航空宇宙分野における重要な航法装置であり、その精度は航空機の航法精度と飛行安全性に直接影響を及ぼします。慣性航法システムの試験プロセスでは、高精度ターンテーブルを用いて航空機の様々な運動状態をシミュレートする必要があります。XYT高精度アクティブ防振モーションプラットフォームは、回転テーブル支持プラットフォームとして使用できます。精密なモーション制御と優れた防振性能により、慣性航法システム試験に安定した高精度な移動環境を提供し、試験精度と信頼性を向上させます。
航空エンジンブレード加工：航空エンジンブレードの加工精度は、エンジンの性能と効率に重要な影響を及ぼします。XYT精密アクティブ防振運動プラットフォームは、5軸リンク加工センターなどのブレード加工プロセスに適用でき、工具の移動経路を精密に制御し、安定した加工環境を維持することで、ブレードの高精度加工を実現し、ブレードのプロファイル精度と表面品質が設計要件を満たすことを保証します。
科学研究テスト
ナノサイエンス研究：ナノサイエンス研究では、ナノ材料の調製やナノデバイスの組み立てなど、ナノスケールの物体の操作と観察が不可欠です。XYT精密アクティブ振動分離モーションプラットフォームの花崗岩ベースは、サブミクロン、さらにはナノレベルの位置決め精度を提供し、ナノサイエンス研究のための安定的で正確な実験プラットフォームを提供し、科学者がナノ世界の謎をより深く探求するのに役立ちます。
バイオメディカルイメージング：蛍光顕微鏡、共焦点顕微鏡、その他のイメージングデバイスなどのバイオメディカル分野では、高解像度の生物画像を取得するために、サンプルの正確な位置決めと安定したイメージングが求められます。XYT高精度アクティブ振動絶縁モーションプラットフォームは、生物サンプルを運搬し、正確なモーション制御と優れた振動絶縁性能によりサンプルの振動とドリフトを低減し、イメージングの品質と精度を向上させ、バイオメディカル研究者が細胞、組織、その他の微細構造に関する詳細な研究を行うのに役立ちます。
投稿日時: 2025年4月11日