ウェーハ処理装置に使用される御影石とは何ですか?

花崗岩は、その優れた機械的特性と耐久性により、ウェーハ処理業界で人気のある材料です。世界中の採石場で採掘される天然石で、半導体装置の製造を含むさまざまな建設目的で何世紀にもわたって使用されてきました。この記事では、花崗岩の特性とウェーハ処理装置におけるそのさまざまな用途について説明します。

花崗岩の性質

花崗岩は、雲母、長石、石英からなる火成岩です。優れた強度、硬度、耐久性で知られており、高い精度と精度が必要な用途に最適な素材です。花崗岩は熱膨張係数が低いため、温度変化による膨張や収縮が少なく、安定性に優れています。さらに、花崗岩は耐腐食性や耐薬品性があるため、過酷な環境での使用に最適な素材です。

ウエハ処理装置における花崗岩の応用

花崗岩は、その独特な特性の組み合わせにより、ウェーハ処理業界で広く使用されている材料です。以下は、ウェーハ処理装置における花崗岩の用途の一部です。

1. 計測ツール

花崗岩は、三次元測定機 (CMM) や光学測定システムなどの計測ツールの製造によく使用されます。これらのツールには、振動や熱に耐えられる安定した表面が必要です。花崗岩は剛性が高く、熱膨張が低いため、このような用途には理想的な材料です。

2. ウェーハチャック

ウェーハ チャックは、製造プロセス中にウェーハを保持するために使用されます。これらのチャックには、ウェーハの反りや曲がりを防ぐために平坦で安定した表面が必要です。花崗岩は平坦な表面が得られ、安定性が高く反りにくいため、ウェーハチャックに最適な素材です。

3. 化学機械研磨 (CMP) ツール

CMP ツールは、製造プロセス中にウェーハを研磨するために使用されます。これらのツールには、振動や熱に耐えられる安定したプラットフォームが必要です。花崗岩の優れた剛性と低い熱膨張により、花崗岩は CMP ツールに理想的な材料となります。

4. ウェハ検査装置

ウェーハ検査装置はウェーハの欠陥や傷を検査するために使用されます。これらのツールは、正確な測定を保証するために、安定した平らな表面を必要とします。花崗岩は、反りにくく安定した平坦な表面を提供するため、ウェーハ検査装置に最適な素材です。

結論

結論として、花崗岩は、その優れた機械的特性と耐久性により、ウェーハ処理業界で広く使用されている材料です。これは、計測ツール、ウェーハ チャック、CMP ツール、ウェーハ検査装置の製造によく使用されます。特性のユニークな組み合わせにより、高精度と精度が必要な用途に理想的な材料となります。花崗岩は多くの利点があるため、ウェーハ処理装置として依然として人気があり、その使用は今後も増加し続けると考えられます。