ウェーハ処理装置で使用される花崗岩を清潔に保つ最善の方法は何ですか?

花崗岩は、耐久性、耐薬品性、耐熱性、メンテナンスの必要性が低いため、ウェーハ処理装置でよく使用される材料です。ただし、他の表面と同様に、花崗岩も継続的に使用したり、さまざまな物質にさらされたりすると、時間の経過とともに汚れたりシミになったりする可能性があります。したがって、ウェーハ処理装置内で花崗岩を清潔に保つためのベストプラクティスを理解することが重要です。

1. 刺激の強い洗浄剤を避ける

花崗岩は非常に耐久性のある素材ですが、強力な洗浄剤を使用すると傷や損傷を受けやすい可能性があります。したがって、研磨剤入りのクリーナー、酸性溶液、または漂白剤やアンモニアを含むものの使用は避けるのが最善です。代わりに、花崗岩の表面用に特別に設計された中性の pH クリーナーを選択してください。

2. こぼれた場合はすぐに掃除してください

花崗岩の主な利点の 1 つは液体に対する耐性ですが、汚れや損傷を防ぐためにこぼれた場合はすぐに拭き取ることが依然として重要です。清潔なスポンジまたは布を使用してこぼれた液体を吸収し、湿らせた布で表面をきれいに拭きます。

3.シーラーを使用する

御影石シーラーを塗布すると、汚れや細菌の繁殖から表面を保護できます。花崗岩を密閉すると、液体が石の細孔に浸透するのを防ぐバリアが形成されます。これは、化学薬品やその他の物質が使用される可能性があるウェーハ処理装置では特に重要です。

4. 直火を避ける

花崗岩は耐熱性がありますが、熱衝撃を引き起こしてひび割れや欠けが発生する可能性があるため、熱いものを表面に直接置かないことが重要です。花崗岩を熱によるダメージから守るために、コースターや鍋敷きを使用するのが最善です。

5. 定期的な清掃

汚れ、汚れ、その他の汚染物質の蓄積を防ぐために、定期的な清掃が重要です。柔らかい布またはスポンジを使用して表面を拭き、花崗岩の損傷を避けるために中性 pH クリーナーを使用してください。必要に応じて、市販のクリーナーの代わりに中性洗剤溶液を使用することもできます。

結論として、ウェーハ処理装置内の花崗岩の清浄度と外観を維持することは、最適な性能と寿命を確保するために重要な課題です。これらの簡単な手順に従うことで、花崗岩の表面を最高の状態に保ち、今後何年にもわたって信頼できるサービスを提供し続けることができます。