ウェーハ処理装置用の花崗岩製機械ベースを清潔に保つ最良の方法は何ですか?

花崗岩は、高い剛性、低い熱膨張率、優れた振動減衰特性といった独自の特性から、特にウェーハ処理装置などの機械ベースに最適な材料です。従来、機械ベースの材料としては金属が使用されてきましたが、以下の理由から、花崗岩が優れた代替材料として注目されています。

高い剛性：機械ベースは、振動を最小限に抑え、ウェハ加工時の精度を維持するために、剛性と安定性が求められます。花崗岩は高い剛性対重量比を有し、非常に高い剛性と安定性を実現することで、振動を低減し、優れた加工精度を保証します。

低熱膨張：金属は温度変化によって膨張または収縮し、機械ベースの寸法変化や加工精度の低下につながる可能性があります。一方、花崗岩は熱膨張係数が低いため、温度変化による膨張や収縮が少なく、加工の安定性と精度を確保します。

優れた振動減衰性：振動は工作機械において一般的な問題であり、寸法誤差、表面仕上げの問題、さらには機械部品の早期摩耗につながる可能性があります。花崗岩は優れた振動減衰特性で知られており、振動を吸収・減衰することで、スムーズで正確な加工を実現します。

耐薬品性：ウェーハ処理では様々な化学物質が使用され、これらの化学物質への曝露は、時間の経過とともに機械基盤の腐食や劣化を引き起こす可能性があります。花崗岩は化学腐食に対する耐性が非常に高いため、ウェーハ処理装置の機械基盤として安全で耐久性のある素材として最適です。

メンテナンスの手間がかからない：花崗岩はメンテナンスが最小限で済み、清掃も簡単で、金属のように腐食したり錆びたりしません。そのため、メンテナンスコストが削減され、設備のダウンタイムも短縮されます。

ウェーハ処理装置の機械ベースとして金属ではなく花崗岩を選択することで、高い剛性、低い熱膨張率、優れた振動減衰性、優れた耐薬品性、メンテナンスの容易さなど、様々なメリットが得られます。これらの利点により、機械ベースの安定性、精度、耐久性が確保され、高品質なウェーハ処理と生産性の向上が実現します。