ウェーハ処理装置製品の花崗岩マシンベースに金属ではなく花崗岩を選択する理由

花崗岩は、高剛性、低熱膨張、優れた振動減衰特性などのユニークな特性により、機械ベース、特にウェーハ処理装置に最適な材料です。機械ベースの材料として伝統的に金属が使用されてきましたが、次の理由により、花崗岩が優れた代替品として浮上しています。

高剛性: ウェーハ処理中の振動を最小限に抑え、精度を維持するには、マシンベースが剛性と安定性を備えている必要があります。花崗岩は剛性重量比が高いため、非常に剛性が高く安定しているため、振動が軽減され、優れた加工精度が保証されます。

低熱膨張: 温度変化により金属が膨張または収縮し、その結果、機械ベースの寸法が変化し、加工の不正確さにつながる可能性があります。一方、御影石は熱膨張率が低いため、温度変化による伸縮が少なく、安定した加工精度が得られます。

優れた振動減衰: 振動は工作機械の一般的な問題であり、寸法誤差、表面仕上げの問題、さらには機械コンポーネントの早期摩耗につながる可能性があります。花崗岩は優れた振動減衰特性で知られており、振動を吸収して減衰し、スムーズで正確な加工を保証します。

耐薬品性: ウェーハ処理にはさまざまな化学物質が使用され、これらの化学物質にさらされると、時間の経過とともに機械ベースの腐食や劣化が発生する可能性があります。花崗岩は化学的腐食に対する耐性が高いため、ウェーハ処理装置のマシンベースに安全で耐久性のある材料の選択肢となります。

低メンテナンス: 花崗岩は最小限のメンテナンスで済み、掃除が簡単で、金属のように腐食したり錆びたりしません。これにより、メンテナンスコストが削減され、機器のダウンタイムも短縮されます。

全体として、ウェーハ処理装置の機械ベースとして金属ではなく花崗岩を選択すると、高剛性、低熱膨張、優れた振動減衰、優れた耐薬品性、メンテナンスの負担軽減など、いくつかの利点が得られます。これらの利点により、マシンベースの安定性、正確性、耐久性が確保され、高品質のウェーハ処理と生産性の向上が実現します。