グラナイト機械ベース用の金属の代わりに花崗岩を選択する理由ウェーハ加工装置製品

花崗岩は、剛性が高く、熱膨張が少ない、優れた振動減衰特性などのユニークな特性があるため、特にウェーハ加工装置のためのマシンベースにとって優れた材料です。金属は伝統的に機械ベースの材料として使用されてきましたが、花崗岩は次の理由により優れた代替品として浮上しています。

高い剛性：マシンベースは、振動を最小限に抑え、ウェーハ処理中に精度を維持するために、硬く安定している必要があります。花崗岩の剛性と重量の比率が高いため、非常に硬く安定しているため、振動が減少し、優れた加工精度が確保されます。

低熱の膨張：温度変化により、金属が拡張または収縮する可能性があり、機械ベースの寸法変化をもたらし、処理の不正確さにつながります。一方、花崗岩は熱膨張係数が低いため、温度変化とあまり拡大または収縮しないことを意味し、処理の安定性と精度を確保します。

優れた振動減衰：振動は工作機械で一般的な問題であり、寸法エラー、表面仕上げの問題、さらには機械コンポーネントの早期摩耗や裂傷につながる可能性があります。花崗岩は、その優れた振動減衰特性で知られています。つまり、振動を吸収して減衰させることができ、滑らかで正確な処理を確保します。

化学耐性：ウェーハ処理にはさまざまな化学物質の使用が含まれ、これらの化学物質への曝露は、時間の経過とともに機械ベースの腐食や分解を引き起こす可能性があります。花崗岩は化学腐食に対して非常に耐性があるため、ウェーハ加工装置の機械ベースに安全で耐久性のある材料の選択肢となっています。

メンテナンスの低い：花崗岩は最小限のメンテナンスを必要とし、掃除が簡単で、金属のように腐食したり錆びたりしません。これは、機器のメンテナンスコストの削減とダウンタイムの短縮につながります。

全体として、ウェーハ加工装置用の機械ベース用に金属上で花崗岩を選択すると、高い剛性、低熱膨張、優れた振動減衰、優れた耐薬品性、低メンテナンスなど、いくつかの利点があります。これらの利点により、マシンベースが安定し、正確で耐久性があり、高品質のウェーハ処理と生産性が向上することが保証されます。