ウェーハ処理装置製品の花崗岩マシンベッドに金属ではなく花崗岩を選択する理由

ウェーハ処理装置の機械ベッドには、花崗岩が広く使用されています。これは、花崗岩が金属に比べて様々な利点を持っているためです。この記事では、花崗岩製の機械ベッドに金属ではなく花崗岩を選ぶべき理由を探ります。

1. 安定性と剛性

花崗岩は、その安定性と剛性で知られています。均質な結晶構造を持ち、温度変化によって反ったりねじれたりしません。つまり、温度変化によって膨張、収縮、さらには変形する可能性のある金属よりもはるかに安定しています。この安定性と剛性により、花崗岩は精密な位置決めと正確な測定が求められる機械ベッドに最適な素材となっています。

2. 振動減衰

花崗岩は優れた振動減衰特性を有し、金属缶よりも衝撃や振動を吸収します。精度が極めて重要となるウェハ処理装置では、振動は誤差や不正確な測定の原因となる可能性があります。そのため、花崗岩製の機械ベッドを使用することで、振動を低減し、正確で安定した測定を実現できます。

3. 熱安定性

花崗岩は熱膨張係数が低いため、温度変化による膨張や収縮が極めて少ないという特性があります。この熱安定性は、高温下で稼働するウェーハ処理装置において重要です。また、温度変化によって金属部品に歪みが生じ、測定精度の低下につながる精密加工においても重要です。

4. 耐久性と耐摩耗性

花崗岩は耐久性と耐摩耗性に優れていることで知られています。硬く密度の高い素材で、過酷な環境にも劣化することなく耐えることができます。一方、金属は傷やへこみ、さらには腐食が発生し、修理や交換が必要になる場合があります。花崗岩の耐久性と耐摩耗性は、長期的に見て機械ベッドのコスト効率に優れた素材となっています。

5. お手入れが簡単

花崗岩は清掃とメンテナンスが容易です。金属とは異なり、錆びたり腐食したりせず、薬品や汚れにも強いです。清潔さが不可欠​​なウェーハ処理装置では、花崗岩製の機械ベッドを使用することで、頻繁な清掃とメンテナンスの必要性を軽減できます。

結論として、金属よりも優れた利点を持つ花崗岩は、ウェーハ処理装置の機械ベッドに最適な素材です。安定性、振動減衰性、熱安定性、耐久性、耐摩耗性、そして洗浄の容易さといった優れた特性により、長期的に見て費用対効果の高い機械ベッドの選択肢となります。したがって、花崗岩製の機械ベッドに金属ではなく花崗岩を選択することは、ウェーハ処理装置の品質と効率を向上させるための確かな一歩となります。