Graniteエアベアリングステージが優れた安定性を実現する理由

超精密製造・計測の世界では、安定性こそが全てです。半導体装置、精密CNC加工、光学検査システムなど、あらゆる分野では、ミクロンレベルの振動でさえ精度を損なう可能性があります。Graniteエアベアリングステージは、まさにこの点において卓越した性能を発揮し、ハイエンド産業用途において比類のない安定性と信頼性を提供します。

精密ステージにおける花崗岩の役割

花崗岩は単なる高級素材ではなく、超精密エンジニアリングの礎石です。当社のエアベアリングステージに使用されているZHHIMG®ブラック花崗岩は、高密度（約3100 kg/m³）と優れた寸法安定性を備えており、アルミニウム、スチール、さらには一部の輸入花崗岩といった一般的な素材よりも優れています。これらの物理的特性により、荷重下での変形が低減され、熱膨張が最小限に抑えられ、精密ステージに不可欠な振動減衰効果が得られます。

金属とは異なり、花崗岩は応力を受けても容易に反ったり曲がったりしません。均質な結晶構造により、プラットフォーム全体にわたって均一な剛性が確保され、精密機器のアライメントを長期間維持することができます。さらに、花崗岩の自然な減衰特性により、環境振動が吸収され、ステージの安定性がさらに向上します。

エアベアリング：摩擦のない精度

花崗岩製のベースにエアベアリングを組み込むことで、安定性が新たなレベルに到達しました。エアベアリングは、ステージとガイドウェイの間に薄く均一な加圧空気膜を形成し、ほぼ摩擦のない動作を実現します。これにより、従来の機械式ベアリングによく見られるスティックスリップ現象が排除され、摩耗が低減されます。その結果、ナノメートルレベルの精度が求められるアプリケーションに不可欠な、極めて滑らかで振動のない動作が実現します。

花崗岩ベースに取り付けられたエアベアリングは、その素材本来の平坦性と剛性を最大限に活かします。花崗岩はエアギャップを均一に保ち、傾きや荷重の不均一な分散を防ぎます。この花崗岩とエアベアリング技術の相乗効果により、ZHHIMG® 花崗岩エアベアリングステージは超精密機器における安定性のベンチマークとして広く認められています。

熱安定性と環境上の利点

温度変化は精密ステージに大きな影響を与える可能性があります。特に半導体工場や光学測定ラボのような高精度が求められる環境では顕著です。Graniteは熱膨張係数が低いため、温度変化による寸​​法変化を最小限に抑え、ステージの平坦性とアライメントを維持します。環境制御された作業場と組み合わせることで、これらのステージは厳しい環境下でも安定した性能を発揮します。

さらに、花崗岩は化学的腐食、摩耗、疲労に対する耐性に優れているため、過酷な産業環境においても長期的な信頼性を保証します。頻繁なメンテナンスが必要となる金属ステージとは異なり、花崗岩製エアベアリングステージは長年にわたる連続運転でも精度を維持します。

業界を超えたアプリケーション

花崗岩の物理的特性とエアベアリング技術のユニークな組み合わせにより、これらのステージは幅広い用途に最適です。

• 半導体装置：ウェーハ検査、リソグラフィー、コーティングプロセス

• 精密CNCマシン：高精度フライス加工、穴あけ加工、レーザー加工

• 光学計測：座標測定機（CMM）、プロファイロメータ、AOIシステム

• 研究開発：ナノスケールの実験を行っている大学や研究所

それぞれのアプリケーションにおいて、花崗岩エアベアリングステージによって得られる安定性は、測定精度の向上、生産品質の改善、操作エラーの削減に直接つながります。

ZHHIMG®グラナイトエアベアリングステージが優れている理由

ZHHIMG®は、花崗岩加工と超精密エンジニアリングにおける数十年にわたる専門知識を活用しています。当社の花崗岩ステージは、ナノメートルレベルの平坦度に研磨・組み立てられており、すべてのエアベアリングステージは、レーザー干渉計や電子水準器などの世界最高水準の測定機器を用いて綿密に校正されています。この精度へのこだわりにより、すべてのZHHIMG®ステージは最高の安定性、信頼性、そして性能を発揮します。

要約すると、グラナイトエアベアリングステージの安定性は単なるマーケティング上の謳い文句ではなく、綿密に設計された材料特性、高度なエアベアリング設計、そして細部にまでこだわった職人技の賜物です。超高精度、再現性の高い性能、そして長期的な信頼性が求められる業界において、ZHHIMG®グラナイトエアベアリングステージは世界標準を確立しています。