XYT高精度アクティブ防振モーションプラットフォーム：極めて高い精度で鋳造された花崗岩ベース。

XYT高精度アクティブ防振モーションプラットフォームは、精密製造、科学研究、探査における高精度モーション制御を実現するためのコア機器となっています。中でも、花崗岩ベースの採用は、プラットフォームの性能向上に多くの重要な利点をもたらします。

優れた安定性、外部干渉からの隔離
花崗岩の土台は数百万年の地質学的過程を経て強化されており、内部の鉱物は密接に絡み合い、構造は緻密で均一です。工場内の大型設備の稼働や周囲の交通による強い振動など、複雑な外部振動源に対して、堅固な要塞のような役割を果たします。複雑な結晶構造により、花崗岩の土台は振動を効果的に遮断・減衰させることができ、XYT精密アクティブ防振移動プラットフォームに伝わる振動振幅を80%以上低減できます。半導体チップ製造工場を例にとると、フォトリソグラフィ工程ではプラットフォームに非常に高い安定性が求められ、わずかな振動でもチップパターンのずれにつながる可能性があります。このような状況において、花崗岩の土台で支えられたXYTプラットフォームは、リソグラフィ装置の正確な動作を保証し、チップ製造のための安定した基盤を提供し、チップ歩留まりの向上に貢献します。
優れた熱安定性により、常に正確な測定が可能です。
温度変動は精密機器の精度に影響を与える大きな問題ですが、花崗岩製のベースは熱膨張係数が非常に低いため、この問題を容易に解決できます。その熱膨張係数は一般的に5～7×10⁻⁶/℃であり、温度変化によるサイズ変化はごくわずかです。天文学の分野では、花崗岩製のベースを備えたXYT精密アクティブ振動絶縁モーションプラットフォームは、望遠鏡レンズの微調整に使用され、昼夜の温度差が大きい場合でも、レンズの位置決め精度をサブミクロンレベルに維持できるため、天文学者が遠方の天体の微妙な動きを捉えるのに役立ちます。

高い硬度と耐摩耗性により、長期にわたる耐久性を確保します。
XYT精密アクティブ振動絶縁移動プラットフォームは、長期間の使用中にベースとの間に一定の摩擦が生じます。花崗岩はモース硬度6～7と高硬度で、優れた耐摩耗性を備えています。材料科学研究室で頻繁に使用されるXYTプラットフォームは、花崗岩製のベースにより長期間の摩擦損失を効果的に抑制し、通常のベースと比較してプラットフォームのメンテナンスサイクルを50%以上延長し、機器のメンテナンスコストを削減し、科学研究の継続性を確保します。
XYT精密アクティブ振動絶縁モーションプラットフォームは、花崗岩製のベースを備え、安定性、熱安定性、耐久性において優れた性能を発揮し、数ある精密機器の中でも際立った存在となっています。