♦アルミナ(al2O3)
Zhonghui Intelligent Manufacturing Group(Zhhimg)が生産する精密セラミック部品は、高純度のセラミック原材料、92〜97%アルミナ、99.5%アルミナ、> 99.9%アルミナ、およびCIPコールドアイソスタティックプッシングで作ることができます。高温焼結および精密機械加工、±0.001mmの寸法精度、RA0.1までの滑らかさ、最大1600度までの温度を使用します。黒、白、ベージュ、暗赤色など、顧客の要件に応じてさまざまな色のセラミックを作成できます。当社が生成する精密セラミック部品は、高温、腐食、摩耗、断熱に耐性があり、高温、真空、腐食性ガス環境で長時間使用できます。
さまざまな半導体生産機器で広く使用されています:フレーム(セラミックブラケット)、基板(ベース)、アーム/ブリッジ(マニピュレーター)、、機械的成分、セラミックエアベアリング。
製品名 | 高純度99アルミナセラミックスクエアチューブ /パイプ /ロッド | |||||
索引 | ユニット | 85%AL2O3 | 95%AL2O3 | 99%AL2O3 | 99.5%AL2O3 | |
密度 | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
吸収 | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
焼結温度 | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
硬度 | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
曲げ強度(20℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
圧縮強度 | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
長時間の作業温度 | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
マックス。作業温度 | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
体積抵抗率 | 20℃ | ω。 CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
高純度アルミナセラミックの適用:
1。半導体機器に適用:セラミック真空チャック、切断ディスク、クリーニングディスク、セラミックチャック。
2。ウェーハ転送部品:ウェーハの取り扱いチャック、ウェーハ切断ディスク、ウェーハクリーニングディスク、ウェーハ光検査吸引カップ。
3。LED / LCDフラットパネルディスプレイ業界:セラミックノズル、セラミック研削ディスク、リフトピン、ピンレール。
4。光学通信、ソーラー産業:セラミックチューブ、セラミックロッド、サーキットボードスクリーン印刷セラミックスクレーパー。
5。熱耐性および電気的断熱部分:セラミックベアリング。
現在、酸化アルミニウムセラミックは、高純度と一般的なセラミックに分割できます。高純度酸化アルミニウムセラミックスシリーズは、99.9%以上のal₂o₃を含むセラミック材料を指します。最大1650〜1990°Cの焼結温と1〜6μmの透過波長のため、通常、プラチナるつぼの代わりに融合ガラスに処理されます。これは、光透過率とアルカリ金属に対する耐食性のためにナトリウムチューブとして使用できます。エレクトロニクス業界では、IC基質の高周波絶縁材料として使用できます。酸化アルミニウムの含有量によれば、一般的な酸化アルミニウムセラミックシリーズは、99セラミック、95セラミック、90セラミック、85セラミックに分けることができます。時には、酸化アルミニウムの80%または75%のセラミックも、一般的な酸化アルミニウムセラミックシリーズに分類されます。その中で、99個の酸化アルミニウムセラミック材料を使用して、高温るつぼ、耐火性炉チューブ、セラミックベアリング、セラミックシール、バルブプレートなどの特別な耐摩耗性材料を生産します。 95アルミニウムセラミックは、主に耐食性耐摩耗部分として使用されます。 85セラミックはしばしば一部の特性で混合され、それにより電気性能と機械的強度が向上します。モリブデン、ニオビウム、タンタル、その他の金属シールを使用でき、一部は電気真空デバイスとして使用されます。
品質アイテム(代表価値) | 製品名 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11f | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
化学組成低ソジウム簡単な焼結積 | h₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
笑 | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
mgo* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
中粒子径(MT-3300、レーザー分析方法) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α結晶サイズ | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3〜1.0 | 0.3〜4 | 0.3〜4 | |
密度の形成** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
焼結密度** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
焼結の速度速度** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGOは、Al₂o₃の純度の計算に含まれていません。
*スケーリングパウダー29.4MPA(300kg/cm²)、焼結温度は1600°Cです。
AES-11 / 11C / 11F:0.05〜0.1%MGOを追加します。焼結の可能性は優れているため、純度が99%を超える酸化アルミニウムセラミックに適用できます。
AES-22S:密度が高く、焼結ラインの低程度が低いことを特徴とするため、必要な寸法精度を備えたスリップフォーム鋳造およびその他の大規模製品に適用できます。
AES-23 / AES-31-03:AES-22よりも高い形成密度、チキソトロピー、粘度が低い。前者はセラミックに使用され、後者は耐火材料の水減量剤として使用され、人気を博しています。
♦炭化シリコン(原文)特性
一般的な特性 | メインコンポーネントの純度(WT%) | 97 | |
色 | 黒 | ||
密度(g/cm³) | 3.1 | ||
吸収(%) | 0 | ||
機械的特性 | 曲げ強度(MPA) | 400 | |
ヤングモジュラス(GPA) | 400 | ||
ヴィッカーズの硬度(GPA) | 20 | ||
熱特性 | 最大動作温度(°C) | 1600 | |
熱膨張係数 | RT〜500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT〜800°C | 4.3 | |
熱伝導率(w/m x k) | 130 110 | ||
熱衝撃耐性ΔT(°C) | 300 | ||
電気的特性 | 体積抵抗率 | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
誘電率 | 10GHz | - | |
誘電損失(x 10-4) | - | ||
Qファクター(x 104) | - | ||
誘電性破壊電圧(kV/mm) | - |
♦窒化シリコンセラミック
材料 | ユニット | si₃n₄ |
焼結方法 | - | 焼st焼く |
密度 | g/cm³ | 3.22 |
色 | - | 濃い灰色 |
吸収速度 | % | 0 |
若いモジュラス | GPA | 290 |
ビッカーズの硬さ | GPA | 18-20 |
圧縮強度 | MPA | 2200 |
曲げ強度 | MPA | 650 |
熱伝導率 | w/mk | 25 |
熱衝撃耐性 | Δ(°C) | 450-650 |
最大動作温度 | °C | 1200 |
体積抵抗率 | ω・cm | > 10 ^ 14 |
誘電率 | - | 8.2 |
誘電強度 | KV/mm | 16 |