材質 – セラミック

♦アルミナ（Al₂O3)

中匯智能製造グループ（ZHHIMG）が製造する精密セラミック部品は、92～97%アルミナ、99.5%アルミナ、99.9%超アルミナなどの高純度セラミック原料を使用し、CIP冷間静水圧プレスで製造されます。高温焼結と精密加工により、寸法精度は±0.001mm、平滑度はRa0.1に達し、使用温度は1600度まで可能です。お客様のご要望に応じて、黒、白、ベージュ、ダークレッドなど、様々な色のセラミック部品を製造可能です。当社が製造する精密セラミック部品は、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性に優れ、高温、真空、腐食性ガス環境下でも長期間ご使用いただけます。

フレーム（セラミックブラケット）、基板（ベース）、アーム/ブリッジ（マニピュレーター）、機械部品、セラミックエアベアリングなど、さまざまな半導体製造装置に幅広く使用されています。

高純度アルミナセラミックスの用途：
1.半導体装置に適用：セラミック真空チャック、カッティングディスク、クリーニングディスク、セラミックチャック。
2. ウェーハ搬送部品：ウェーハハンドリングチャック、ウェーハ切断ディスク、ウェーハ洗浄ディスク、ウェーハ光学検査用吸引カップ。
3. LED / LCD フラットパネルディスプレイ業界：セラミックノズル、セラミック研削ディスク、リフトピン、ピンレール。
4. 光通信、太陽光発電産業：セラミックチューブ、セラミックロッド、回路基板スクリーン印刷セラミックスクレーパー。
5. 耐熱性および電気絶縁性部品：セラミックベアリング。
現在、酸化アルミニウムセラミックスは高純度セラミックスと一般セラミックスに分けられます。高純度酸化アルミニウムセラミックスシリーズとは、Al₂O₃含有量が99.9%以上のセラミック材料を指します。焼結温度が1650～1990℃に達し、透過波長が1～6μmであるため、通常は白金るつぼではなく溶融ガラスに加工されます。光透過率とアルカリ金属に対する耐腐食性により、ナトリウム管として使用できます。電子産業では、IC基板の高周波絶縁材料として使用できます。酸化アルミニウムの含有量の違いにより、一般酸化アルミニウムセラミックスシリーズは、99セラミックス、95セラミックス、90セラミックス、85セラミックスに分けられます。また、酸化アルミニウム含有量が80%または75%のセラミックスも一般酸化アルミニウムセラミックスシリーズに分類されます。そのうち、99アルミニウム酸化物セラミック材料は、高温るつぼ、耐火炉管、セラミックベアリング、セラミックシール、バルブプレートなどの特殊耐摩耗材料の製造に使用されています。95アルミニウムセラミックは主に耐腐食性耐摩耗部品として使用されています。85セラミックは、一部の特性に応じて混合されることが多く、電気性能と機械的強度を向上させます。モリブデン、ニオブ、タンタルなどの金属シールにも使用でき、一部は電気真空装置にも使用されています。

※Al₂O₃の純度計算にはMgOは含まれません。
* スケールパウダーなし 29.4MPa (300kg/cm²)、焼結温度は1600℃です。
AES-11 / 11C / 11F：0.05〜0.1％のMgOを添加すると焼結性が優れているため、純度99％以上の酸化アルミニウムセラミックに適用できます。
AES-22S：成形密度が高く、焼結ラインの収縮率が低いのが特徴で、スリップフォーム鋳造や寸法精度が求められる大型製品などに適しています。
AES-23 / AES-31-03: AES-22Sよりも成形密度が高く、チキソトロピー性があり、粘度が低いです。前者はセラミックに使用され、後者は耐火材料の減水剤として使用され、人気が高まっています。