超精密花崗岩製機械ベース

精密機械の性能は、その土台となる素材に大きく左右されます。当社では、独自のZHHIMG®ブラックグラナイトを使用しています。この素材は、低密度の花崗岩や一般的な大理石代替品など、標準的な代替素材よりも優れた性能を発揮することが科学的に証明されています。

応用例：ナノメートルが重要な役割を果たす分野

当社の精密花崗岩製ベースは、誤差が一切許されない分野において不可欠です。このタイプの特注花崗岩製コンポーネントは、以下の用途において基礎的な安定性を提供します。

● 半導体製造装置：ウェハ検査装置、リソグラフィ装置、ダイシング装置などのベース設備。
● 超精密計測：座標測定機（CMM）、3Dプロファイロメーター、レーザー干渉計システムの基本構造。
● 高速ダイナミックシステム：プリント基板の穴あけ加工やレーザー切断における高速リニアモーターステージ用のグラナイト製エアベアリングおよびベース。
● 高度な光学・レーザーシステム：フェムト秒／ピコ秒レーザー加工および高解像度AOI（自動光学検査）装置のための安定したプラットフォーム。
● 次世代製造：ペロブスカイトコーティング装置や新エネルギー電池試験装置など、最新の用途向けの基盤となる部品。