花崗岩製エアベアリングシステムは、超精密半導体製造、光学アライメント、ナノメートルスケール計測のためのモーションプラットフォーム。
これらのシステムは、薄い加圧空気膜を使用することで機械的な接触を排除し、摩擦をほぼゼロに抑えた動作を実現します。
空気軸受の原理
空気軸受は、2つの表面間に圧縮空気を導入し、2～20μmの空気膜を形成することによって作動する。
これにより以下が排除されます。
- 機械摩擦
- 着る
- スティックスリップ挙動
このシステムは、流体膜力学と安定した層流に依存している。
花崗岩の役割
花崗岩は以下を提供します：
- 構造的安定性
- 熱ドリフト抑制
- 振動減衰
これは、モーションシステムの機械的な基準点として機能する。
システムコンポーネント
- 花崗岩の土台
- エアベアリングパッド
- 空気供給システム
- 高精度エンコーダ
- モーションコントロールシステム
性能特性
典型的な性能は以下のとおりです。
- サブミクロンレベルの位置決め精度
- 長距離移動における高い直進性
- 機械的なバックラッシュはゼロ
主な誤差要因としては、気圧の不安定性、温度変化によるドリフト、エンコーダーの誤差などが挙げられる。
アプリケーション
- 半導体ウェハー検査
- リソグラフィーシステム
- 光学アライメントプラットフォーム
- ハイエンド計測機器
よくある質問
エアベアリングは摩耗しますか？
機械的な接触がないため、摩耗がなくなります。
なぜ花崗岩を使うのか？
安定性と振動減衰のために。
精度を制限する要因は何ですか？
空気の安定性と熱効果。
彼らは重い荷物を運ぶことができますか？
はい、デザインによります。
投稿日時：2026年7月3日