Granite XY ステージ アプリケーション

立型精密電動ステージ（Zポジショナ）
ステッピング モーター駆動のステージからピエゾ Z フレクシャ ナノポジショナまで、さまざまな垂直リニア ステージが多数あります。垂直位置決めステージ (Z ステージ、リフト ステージ、またはエレベータ ステージ) は、焦点合わせや精密な位置決めおよびアライメントのアプリケーションに使用され、光学からフォトニクスのアライメントや半導体テストに至るまで、ハイエンドの産業および研究アプリケーションでミッション クリティカルであることがよくあります。これらのxyステージはすべて御影石で作られています。
専用の Z ステージは、ブラケットに垂直に取り付けられた移動ステージと比べて剛性と真直性が優れており、位置決めするサンプルに完全にアクセスできます。

豊富なオプション: 低コストのステッピング モーター ユニットから、直接位置フィードバックを実現する閉ループ モーターとリニア エンコーダを備えた高精度リフト ステージまで、さまざまな Z ステージが用意されています。

超高精度
真空対応リニア位置決めステージ。