花崗岩XYステージの用途

垂直精密電動ステージ（Zポジショナー）
垂直直線ステージには、ステッピングモーター駆動ステージからピエゾZフレクシャーナノポジショナーまで、多種多様なものがあります。垂直位置決めステージ（Zステージ、リフトステージ、エレベーターステージ）は、フォーカスや精密位置決め・アライメント用途に使用され、光学からフォトニクスアライメント、半導体試験に至るまで、ハイエンドの産業・研究用途において極めて重要な役割を果たします。これらのXYステージはすべて花崗岩製です。
専用の Z ステージは、ブラケットに垂直に取り付けられた移動ステージに比べて優れた剛性と真直度を提供し、配置するサンプルに完全にアクセスできるようにします。

豊富なオプション: 低コストのステッピング モーター ユニットから、クローズド ループ モーターとリニア エンコーダーを備えた高精度リフト ステージまで、さまざまな Z ステージがあり、直接的な位置フィードバックを実現します。

超高精度
真空対応のリニア位置決めステージ。