花崗岩XYステージアプリケーション

垂直精度の電動段階（Zポジション担当者）
ステッピングモーター駆動型のステージからピエゾ-Z屈曲ナノ堆積剤に至るまで、さまざまな垂直線形ステージがあります。垂直方向の位置決め段階（Zステージ、リフトステージ、またはエレベーターステージ）は、フォーカスまたは精密位置決めおよびアライメントアプリケーションに使用され、多くの場合、光学アライメントおよび半導体テストに至るまで、高エンドの産業および研究アプリケーションではミッションクリティカルです。これらのXYステージはすべて花崗岩によって作られています。
専用のZステージは、ブラケットに垂直に取り付けられた翻訳段階と比較して、より良い剛性とまっすぐさを提供し、配置するサンプルに完全にアクセスできます。

多くのオプション：低コストのステッパーモーターユニットから、閉ループモーターと直接位置フィードバックのための線形エンコーダを備えた高精度リフトステージまで、さまざまなZステージ。

超高精度
真空互換線形位置決め段階。