花崗岩XYステージアプリケーション

垂直高精度電動ステージ（Z軸位置決め装置）
垂直リニアステージには、ステッピングモーター駆動ステージからピエゾZフレクシャナノポジショナーまで、さまざまな種類があります。垂直位置決めステージ（Zステージ、リフトステージ、またはエレベーターステージ）は、焦点合わせや精密位置決め、アライメント用途に使用され、光学からフォトニクスアライメント、半導体テストに至るまで、ハイエンドの産業および研究用途において重要な役割を担っています。これらのXYステージはすべて花崗岩で作られています。
専用のZ軸ステージは、ブラケットに垂直に取り付けられた並進ステージに比べて剛性と真直度が高く、位置決めするサンプルに完全にアクセスできます。

豊富な選択肢：低コストのステッピングモーターユニットから、クローズドループモーターとリニアエンコーダーによる直接位置フィードバックを備えた高精度リフトステージまで、さまざまなZステージをご用意しています。

超高精度
真空対応リニア位置決めステージ。