半導体製造の分野では、サブミクロンの精度がチップの性能を保証する鍵であり、その材料特性、精密な処理、革新的な設計を備えた（ZHHIMG®）花崗岩ベースは、この精度を実現するための中核的な保証となっています。
ZHHIMG®が選定した黒御影石は、材質特性の観点から、密度が約3100kg/m³と緻密な内部構造を有しています。この高い密度により、優れた安定性と剛性を実現しています。半導体装置の稼働中は、モーターの回転や装置内部の機械部品の動きによって振動が発生します。この黒御影石のベースは、振動エネルギーの90%以上を効果的に吸収し、振動が装置の精度に与える影響を大幅に低減します。また、熱膨張係数が極めて低いため、周囲温度の変動に対しても変形を極めて小さく抑え、半導体装置の安定した支持基盤を提供し、温度変化による装置部品の変位を防ぎ、精度への影響を防ぎます。
加工製造面では、ZHHIMG®工場は国際先進の加工設備を導入し、超大型研削盤（1台あたり50万米ドル以上）4台を保有し、花崗岩の高精度研削加工が可能です。5軸連動CNC加工などの工程を経て、機械ベースの平坦度はナノメートルレベルに達し、半導体装置の設置に超平坦な基準面を提供し、装置各部の正確な位置決めを保証します。さらに、恒温恒湿工場（面積1万平方メートル）は、加工に安定した環境を提供します。周囲には幅500mm、深さ2000mmの防振溝と静音クレーンが設置されており、外部の振動干渉を効果的に遮断し、機械ベースの加工精度を確保しています。
さらに、ZHHIMG®は強力なカスタマイズ能力も備えています。半導体装置の特殊な要件に合わせて、精密な設置穴やケーブルトレイをプレハブ化することで、装置とベース間の完璧な互換性を実現します。同時に、ドイツのMahr社製分目盛りゲージ（精度0.5μm）やスイスのWYLER社製電子水準器といった世界トップクラスの計測・試験設備と連携し、マシンベースは厳格に検査・校正され、各マシンベースが半導体装置の厳しいサブミクロンレベルの精度要件を満たすことを保証します。
これらの利点の組み合わせにより、ZHHIMG® 花崗岩ベースは半導体装置でサブミクロンの精度を実現するための信頼できる選択肢となり、半導体製造をより高精度の分野へと移行させるのに役立ちます。
投稿日時: 2025年6月18日