ウェーハ加工製品用花崗岩機械ベースの使用方法とメンテナンス方法

花崗岩製の機械台は、優れた安定性、振動減衰特性、そして熱安定性を備えているため、半導体ウェーハ処理において広く使用されています。この高品質な素材を最大限に活用し、長寿命を確保するためには、以下の適切な使用とメンテナンスに関するヒントに従う必要があります。

まず、花崗岩製の機械台を清潔に保ち、研磨剤や腐食性物質との接触を避けることが重要です。柔らかい湿らせた布に中性洗剤またはクリーナーをつけて、定期的に表面を拭いてください。溶剤、酸、強力な洗浄剤は石の表面を傷める可能性があるため、使用しないでください。

次に、不要な動きや振動を防ぐために、機械のベースが適切に設置され、水平になっていることを確認してください。これは、精密水準器でベースの位置を確認し、必要に応じて水平調整脚を調整することで確認できます。

第三に、機械のベースがさらされる温度条件に注意することが重要です。花崗岩は熱膨張係数が低く、熱衝撃に強いですが、それでも極端な温度変化の影響を受ける可能性があります。直射日光や温度変化の激しい場所に機械のベースを置くことは避けてください。

4つ目に、花崗岩の機械台に重い荷物や衝撃を加えないでください。花崗岩は非常に強度の高い素材ですが、過度の力がかかると損傷する可能性があります。重い荷物を機械に載せる必要がある場合は、保護層を使用して重量を均等に分散し、点荷重を避けてください。

最後に、機械のベースに修理や改造を加える場合は、必ず花崗岩の取り扱いに経験のある資格を持った技術者に依頼してください。ベースの修理や改造を不適切に行うと、構造の完全性と性能が損なわれる可能性があります。

まとめると、ウェーハ処理製品用の花崗岩製機械ベースを効果的に使用し、維持するには、清潔に保ち、適切に設置・水平に保ち、極端な温度条件にさらさないようにし、重い荷物や衝撃を与えないようにし、修理や改造は適切に行うことが重要です。適切な手入れと注意を払えば、花崗岩製機械ベースはウェーハ処理システムの長寿命で信頼性の高いコンポーネントとなり得ます。