ウエハー加工製品用御影石マシンベースの使用方法とメンテナンス方法

花崗岩のマシンベースは、安定性、振動減衰特性、熱安定性に優れているため、半導体ウェーハ処理によく使用されます。この高品質の素材を最大限に活用し、長持ちさせるには、次のヒントに従って適切な使用とメンテナンスを行う必要があります。

まず、花崗岩の機械ベースを清潔に保ち、研磨材や腐食性物質が接触しないようにすることが重要です。定期的に表面を拭くには、中性洗剤またはクリーナーを含ませた柔らかい湿った布を使用してください。石の表面を損傷する可能性があるため、溶剤、酸、または強力な洗浄剤の使用は避けてください。

次に、不必要な動きや振動を防ぐために、機械のベースが適切に設置され、水平になっていることを確認してください。これは、精密水準器でベースの位置を確認し、必要に応じて水平調整脚を調整することによって行うことができます。

第三に、マシンベースがさらされる温度条件に注意することが重要です。花崗岩は熱膨張係数が低く、熱衝撃に強いですが、それでも極端な温度変化の影響を受ける可能性があります。機械ベースを直射日光や温度変化にさらされる場所に置かないでください。

第 4 に、花崗岩の機械ベースに重い荷重や衝撃力を加えないでください。非常に丈夫な素材ですが、過度な力が加わると破損する可能性があります。機械に重い荷物を載せる必要がある場合は、保護層を使用して重量を均等に分散し、点荷重を避けてください。

最後に、機械ベースの修理や改造は、花崗岩の取り扱いに経験のある資格のある技術者が行うようにしてください。ベースを誤って修理または変更すると、構造の完全性と性能が損なわれる可能性があります。

要約すると、ウエハー処理製品用の花崗岩マシンベースを効果的に使用および維持するには、それを清潔に保ち、適切に設置および水平に保ち、極端な温度条件にさらさないようにし、重い荷重や衝撃力を加えないようにすることが重要です。修理や改造が正しく行われていることを確認してください。適切なケアと注意を払えば、花崗岩のマシンベースは、ウェーハ処理システムの長持ちする信頼性の高いコンポーネントになります。