花崗岩は硬くて耐久性のある材料で、建設業界でよく使用されます。しかし、半導体製造、特に集積回路の製造と処理に役立つ特性も備えています。花崗岩テーブルや花崗岩ブロックなどの花崗岩コンポーネントは、その安定性、平坦性、および低い熱膨張係数により広く使用されています。
半導体製造における花崗岩コンポーネントの主な用途の 1 つは製造プロセスです。集積回路の基本構成要素であるシリコン ウェーハは、高い精度と精度で製造される必要があります。プロセス中の歪みや動きは、集積回路の品質や機能に影響を与える欠陥を引き起こす可能性があります。高い安定性と平坦性を備えた御影石テーブルは、ウェーハ処理装置に優れたプラットフォームを提供します。また、プロセスで必要な加熱と冷却によって引き起こされる熱膨張と熱収縮にも耐性があります。
花崗岩ブロックは、熱安定性のために半導体プロセスでも使用されます。エッチングまたは堆積プロセス中に、シリコン ウェーハの表面を改質するために高温ガスまたはプラズマが使用されます。プロセスを効率的かつ正確に実行するには、ウェーハの温度を制御する必要があります。花崗岩ブロックは熱膨張係数が低いため、ウェーハの温度を安定させ、処理される材料の品質に影響を与える可能性のある温度変動のリスクを軽減します。
製造および処理プロセスとは別に、花崗岩コンポーネントは半導体製造の計測および検査段階でも使用されます。計測測定は、ウェーハ上の構造のサイズ、形状、位置が要求仕様内であることを確認するために行われます。花崗岩ブロックは、その寸法安定性と精度により、これらの測定の参照標準として使用されます。これらは、集積回路の品質を高倍率でチェックする検査段階でも使用されます。
全体として、近年、半導体製造における花崗岩コンポーネントの使用が増加しています。集積回路の製造と処理における高精度、精度、安定性の必要性により、半導体メーカーによるこれらの材料の採用が促進されています。花崗岩の硬度、安定性、低い熱膨張係数などの独特の特性により、これらのプロセスでの使用に最適です。半導体技術の継続的な開発と改善により、花崗岩コンポーネントの使用は将来さらに増加すると予想されます。
投稿日時: 2023 年 12 月 5 日