精密花崗岩は半導体リソグラフィ部品に最適な材料でしょうか？

プレシジョングラナイトは、非磁性、高剛性、そしてほぼゼロの熱膨張率という特性から、リソグラフィーや計測におけるナノメートルレベルの精度を確保するために不可欠な材料です。

非磁性および化学的安定性

半導体製造の高強度電磁環境において、花崗岩部品花崗岩は非磁性であるため、干渉を防ぎます。さらに、化学的に不活性で、ガスを放出したり粒子を発生させたりしないため、ISOクラス1のクリーンルーム環境に最適です。

究極の物理的剛性とクリープ耐性

ZHHIMGが選定した高密度黒御影石は、極めて高い硬度を誇ります。長期にわたる荷重下でも、物理的なクリープ現象はほとんど発生せず、XYステージの安定した基盤を永続的に提供し、長年の運用においても一貫した再現性の高い位置決め精度を保証します。

熱膨張における自然な利点

半導体製造プロセスは熱に非常に敏感です。グラナイトの低い熱膨張係数は、精密モーターによって発生する熱を相殺します。当社の高精度加工技術と組み合わせることで、様々な動作温度下でも部品の形状精度を維持することができます。

材料性能マトリックス

よくある質問：プレシジョングラナイト

1. なぜ「黒」御影石を選ぶのか？それは、灰色御影石よりも密度が高く、吸水率が低く、安定性に優れているからです。

2. どのような精度等級を提供していますか？弊社では、DIN 876 グレード000規格まで製造しています。

3. 最大サイズはどれくらいですか？ZHHIMGでは、長さ12メートルまでの一枚板を加工できます。

4. 花崗岩製品のお手入れ方法を教えてください。専用のpH中性洗剤を使用し、酸性物質との接触を避けてください。

5. インサート用の穴あけ加工は可能ですか？ はい、ステンレス鋼インサート用の精密穴あけ加工と二次接合加工を提供しています。

6. 真空状態での使用に適していますか？ もちろんです。天然花崗岩は真空状態でもガスを放出しません。