FPD検査用の精密花崗岩

フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造工程では、パネルの機能性を確認するための試験と、製造工程を評価するための試験が実施されます。

配列処理中のテスト

アレイプロセスにおけるパネル機能のテストを行うため、アレイテスター、アレイプローブ、およびプローブユニットを用いてアレイテストを実施します。このテストは、ガラス基板上に形成されたパネル用TFTアレイ回路の機能性をテストし、断線や短絡を検出することを目的としています。

同時に、アレイプロセスにおけるプロセスをテストし、プロセスの成功を確認し、前のプロセスにフィードバックするために、DCパラメータテスター、TEGプローブ、およびプローブユニットを使用してTEGテストを実施します。（「TEG」はテスト要素グループを意味し、TFT、容量性要素、ワイヤ要素、およびアレイ回路のその他の要素を含みます。）

ユニット/モジュールプロセスにおけるテスト
セルプロセスおよびモジュールプロセスにおけるパネルの機能をテストするために、照明テストを実施した。
パネルが起動され、点灯してテストパターンが表示され、パネルの動作、点欠陥、線欠陥、色度、色収差（不均一性）、コントラストなどを確認します。
検査方法には、オペレーターによる目視検査と、CCDカメラを用いて欠陥検出と合否判定を自動的に行う自動検査の2種類がある。
細胞テスター、細胞プローブ、プローブユニットは検査に使用されます。
モジュールテストでは、ムラ検出および補正システムも使用しており、ディスプレイのムラ（ムラ）や不均一性を自動的に検出し、光制御による補正でムラを除去します。