FPD検査用精密花崗岩

フラット パネル ディスプレイ (FPD) の製造中には、パネルの機能を確認するテストと製造プロセスを評価するためのテストが実行されます。

アレイプロセス中のテスト

アレイ工程においてパネル機能を試験するために、アレイテスター、アレイプローブ、プローブユニットを用いてアレイテストを実施します。このテストは、ガラス基板上に形成されたパネル用のTFTアレイ回路の機能を試験し、断線やショートを検出するように設計されています。

同時に、アレイ工程における工程の成功確認と前工程へのフィードバックを行うために、DCパラメータテスター、TEGプローブ、プローブユニットを用いてTEGテストを実施します。（「TEG」はTest Element Groupの略で、TFT、容量素子、配線素子、アレイ回路のその他の素子を含みます。）

ユニット/モジュールプロセスでのテスト
セル工程およびモジュール工程におけるパネル機能を試験するために、点灯試験を実施しました。
パネルを作動させて点灯させ、テストパターンを表示し、パネルの動作、点欠陥、線欠陥、色度、色収差（不均一性）、コントラストなどを確認します。
検査方法には、オペレータによる目視パネル検査と、CCD カメラを使用して欠陥検出と合否テストを自動的に実行する自動パネル検査の 2 種類があります。
検査にはセルテスター、セルプローブ、プローブユニットが使用されます。
モジュールテストでは、ディスプレイのムラや不均一性を自動的に検出し、光制御による補正でムラを除去するムラ検出および補正システムも使用されます。