FPD検査用精密御影石

フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造では、パネルの機能を確認するための試験や製造プロセスを評価するための試験が行われます。

アレイプロセス中のテスト

アレイ工程におけるパネル機能をテストするために、アレイテスタ、アレイプローブ、プローブユニットを用いてアレイテストが行​​われる。このテストは、ガラス基板上のパネルに形成された TFT アレイ回路の機能をテストし、断線やショートを検出するように設計されています。

同時に、アレイプロセス内のプロセスをテストして、プロセスの成功を確認し、前のプロセスをフィードバックするために、DCパラメータテスター、TEGプローブ、およびプローブユニットがTEGテストに使用されます。（「TEG」はTest Element Groupの略で、TFT、容量素子、配線素子、アレイ回路のその他の要素を含みます。）

ユニット/モジュールプロセスでのテスト
セル工程およびモジュール工程におけるパネルの機能をテストするために、点灯テストを実施しました。
パネルを点灯してテストパターンを表示し、パネルの動作、点欠陥、線欠陥、色度、色収差（ムラ）、コントラストなどをチェックします。
検査方法には、オペレーターによる目視によるパネル検査と、CCDカメラを使用して欠陥検出や合否判定を自動で行う自動パネル検査の2種類があります。
検査にはセルテスター、セルプローブ、プローブユニットが使用されます。
モジュールテストでは、ディスプレイのムラやムラを自動的に検出し、光制御による補正でムラを除去するムラ検出および補正システムも使用します。