なぜ1000mm厚の床が必要なのか？
振動は地面を通して伝わります。一般的な工場の床は薄すぎます。そこで、1000mmの超硬質コンクリートを流し込み、巨大で不活性なブロックを作り上げました。この巨大な塊が、屋外のフォークリフトやプレス機からの衝撃を吸収し、組立エリアを完全に静寂に保ちます。
防振トレンチは何のためにあるのですか？
これらは物理的な堀です。クリーンルームの周囲に幅500mm、深さ2000mmの溝を掘りました。これにより、地面からの振動が伝わる経路を遮断できます。これは昔ながらの物理学の手法ですが、超精密計測には完璧に機能します。
これらは物理的な堀です。クリーンルームの周囲に幅500mm、深さ2000mmの溝を掘りました。これにより、地面からの振動が伝わる経路を遮断できます。これは昔ながらの物理学の手法ですが、超精密計測には完璧に機能します。
なぜサイレントクレーンなのか？
一般的な天井クレーンはキーキーと音を立てます。その音は振動です。当社では、恒温恒湿室で特殊な静音クレーンを使用しています。10トンの花崗岩のベッドを持ち上げる時も、かすかな唸り音が聞こえる程度です。振動がゼロということは、測定誤差もゼロということです。
一般的な天井クレーンはキーキーと音を立てます。その音は振動です。当社では、恒温恒湿室で特殊な静音クレーンを使用しています。10トンの花崗岩のベッドを持ち上げる時も、かすかな唸り音が聞こえる程度です。振動がゼロということは、測定誤差もゼロということです。
これは半導体業界の顧客にとってどのようなメリットがあるのでしょうか？
半導体リソグラフィー装置は基本的に巨大な顕微鏡です。床が1ナノメートル揺れるだけでチップの歩留まりが悪くなります。当社の要塞のような環境は、お客様の製品を組み立てる際に、花崗岩の土台それはすでに完璧な休息状態にある。
半導体リソグラフィー装置は基本的に巨大な顕微鏡です。床が1ナノメートル揺れるだけでチップの歩留まりが悪くなります。当社の要塞のような環境は、お客様の製品を組み立てる際に、花崗岩の土台それはすでに完璧な休息状態にある。
よくある質問（FAQ）
1. 室温を24時間365日監視していますか？
はい。当社の空調システムは±0.5℃の許容誤差を維持しています。また、花崗岩や金属部品の微細な膨張を防ぐため、湿度も監視しています。
はい。当社の空調システムは±0.5℃の許容誤差を維持しています。また、花崗岩や金属部品の微細な膨張を防ぐため、湿度も監視しています。
2. 外部の工事はクリーンルームに影響を与える可能性がありますか？
いいえ。2000mmの溝と1000mmの床が機械的なフィルターとして機能します。たとえ隣で杭打ち機が稼働していても、当社のレーザー干渉計は偏差ゼロを示します。
いいえ。2000mmの溝と1000mmの床が機械的なフィルターとして機能します。たとえ隣で杭打ち機が稼働していても、当社のレーザー干渉計は偏差ゼロを示します。
3. なぜ床は超硬質コンクリートでできているのですか？
通常のコンクリートはひび割れや粉塵が発生しますが、超硬質コンクリートは表面が密封され研磨されています。クリーンルームでの使用にも適しており、当社の研削盤にとって強固で揺るぎない土台となります。
通常のコンクリートはひび割れや粉塵が発生しますが、超硬質コンクリートは表面が密封され研磨されています。クリーンルームでの使用にも適しており、当社の研削盤にとって強固で揺るぎない土台となります。
4. 恒温恒湿装置の設置面積はどのくらいですか？
面積は1万平方メートルです。研削、組み立て、最終計測専用のゾーンを設けています。各ゾーンには独立した環境制御システムが完備されています。
面積は1万平方メートルです。研削、組み立て、最終計測専用のゾーンを設けています。各ゾーンには独立した環境制御システムが完備されています。
5. クリーンルームへの訪問者は許可されていますか？
はい、ただし厳格なガウン着用規定を設けています。お客様には要塞のような工場を見ていただきたいのです。塹壕や静かに稼働するクレーンをご覧いただくことで、当社の製造プロセスに対する信頼が築かれると考えています。
はい、ただし厳格なガウン着用規定を設けています。お客様には要塞のような工場を見ていただきたいのです。塹壕や静かに稼働するクレーンをご覧いただくことで、当社の製造プロセスに対する信頼が築かれると考えています。
6．この環境は輸送に影響しますか？
梱包前にこの部屋で製品を環境調整します。出荷時には安定した温度平衡状態になっているため、お客様の工場に到着した際の「温度ショック」を防ぐことができます。
投稿日時：2026年6月16日