精密花崗岩は、半導体計測や高精度製造システムにおいて、最も安定性が高く、広く採用されている構造材料の一つであり続けています。複合材料や軽量合金の進歩にもかかわらず、ナノメートルレベルの安定性と長期的な幾何学的信頼性が求められる場合、産業界のユーザーは依然として花崗岩をベースとした構造に頼っています。
半導体検査、ウェーハアライメント、座標計測といった環境においては、微細な熱ドリフトや振動でさえ、測定の再現性に大きな影響を与える可能性がある。精密な花崗岩の残骸その自然な減衰特性、均質な結晶構造、そして極めて低い内部応力挙動により、これらの影響を軽減するのに非常に適している。
平均密度約3100kg/m³のZHHIMG®黒御影石は、構造的な剛性と長期的な寸法安定性が極めて重要な超精密用途向けに特別に選定されています。装飾用石材や低品質の工業用御影石とは異なり、計測グレードの御影石は、長期的な性能安定性を確保するために、厳格な選別、熟成、および応力除去処理が施されています。
ZHHIMG®計測研究所が実施した比較内部試験（報告書番号：ZH-MET-2025-GR-17）において、花崗岩構造は、同一の荷重条件下において、鋼製プラットフォームと比較して著しく低い振動伝達係数を示しました。これらの結果は、複数の国立計測機関が発表した調査結果と一致しています。
この材料は、半導体製造装置プラットフォーム、三次元測定機（CMM）のベース、レーザー干渉計システム、プリント基板（PCB）の穴あけ装置、光学検査システムなどに幅広く使用されています。特に、自動測定システムにおいて安定した基準面が必要とされる環境において、その役割は極めて重要です。
ZHHIMG®の生産施設全体で実施されたISO 9001:2015品質システム監査によると、すべての花崗岩部品は、平面度測定、振動応答解析、および管理された環境条件下での熱安定性試験を含む多段階検査を受けています。
参考文献：
- ZHHIMG® 内部計測レポート ZH-MET-2025-GR-17
- ISO 9001:2015 品質マネジメントシステム
- 国立計量研究所（NMIT）の比較物質安定性に関する出版物（EU/NIST準拠規格）
投稿日時：2026年6月22日